Armoires à eau de refroidissement

Armoires à eau de refroidissement

Utilisation d'eau ultra-pure (UPW) dans le circuit de l'outil.

Chambre environnementale précise

Chambre environnementale précise

Enceinte environnementale de précision pour les environnements de processus contrôlés.

Système de contrôle climatique de précision

Système de contrôle climatique de précision

Le climat adéquat garantit la qualité et réduit le taux de rejet dans la production.
Solution de contrôle du point de rosée

Solution de contrôle du point de rosée

Solution de système pour le contrôle du point de rosée de la production d'humidité critique.

Conditionnement de l'eau ultra-pure

Conditionnement de l'eau ultra-pure

Conditionnement précis des fluides dans des environnements de production innovants.

Salle blanche

Des solutions supérieures et des services complets

Mini environnements
Centrales de traitement d'air
Sous-systèmes critiques et environnements contrôlés
Approvisionnement en gaz
Approvisionnement en produits chimiques

Systèmes de mélange et de distribution de produits chimiques et de boues de très haute pureté

Ampoules et capteurs
Échappement du processus