La gamme d'outils de préparation de surface et de bancs humides d'Exentec s'étend de l'immersion par lots aux bancs humides à pulvérisation ou à application unique. Tous les bancs humides peuvent être configurés de manière manuelle à des systèmes multitâches entièrement automatisés.
Nos bancs humides sont conçus pour la répétabilité et le volume, en mettant l'accent sur les processus avec deux cuves de traitement ou plus. Construites selon les normes SEMI en vigueur, nos stations de traitement humide sont disponibles dans des configurations entièrement automatisées, semi-automatisées et manuelles.
- FEOL, BEOL, modules d'emballage, modules d'emballage avancés, placage de motifs MEMS, dépôt magnétique, électro-gravure et dépôt sans électrolyse.
- Nettoyage, bandes de réserve, gravure, développement, décollement du métal, récupération et séchage de l'IPA
- Utilisable pour les applications acides, basiques et solvants
- Bains à une ou plusieurs cassettes
- Plaques de silicium de 100 mm à 450 mm, matériaux III-V, photomasques, verre et grands collecteurs
- Substrats personnalisés
Bancs d'essai produits par Exentec
Les produits Wet Bench d'Exentec sont conçus pour préparer les surfaces des plaquettes de silicium, soutenir les étapes de fabrication en salle blanche, effectuer des processus de gravure et remettre les grands composants de fabrication dans un état exempt de contaminants :
Banc humide automatisé Aeris
Banc humide automatisé Aeris
Le banc humide automatisé Aeris® est spécialement conçu pour répondre aux exigences rigoureuses de la recherche et du développement des semi-conducteurs, combinant un traitement de haute performance avec la flexibilité et la sécurité dont les laboratoires modernes ont besoin.
منضدة CELERA® الرطبة اليدوية
منضدة CELERA® الرطبة اليدوية
Les bancs humides manuels CELERA® sont conçus pour fournir un traitement humide de haute performance à l'échelle du laboratoire, offrant une modularité et une conception robuste inspirées des systèmes entièrement automatisés.
Modules de transfert et de distribution de produits chimiques
Modules de transfert et de distribution de produits chimiques
Nos modules configurables de transfert et de distribution de produits chimiques (CTDM) sont conçus pour la distribution de produits chimiques ultra-purs, le dosage de précision et la distribution sécurisée aux outils de production, ce qui les rend idéaux pour la fabrication de semi-conducteurs, les environnements de salles blanches et d'autres applications de processus de haute pureté.
Hottes
Hottes
Protégez votre environnement de laboratoire avec les hottes de haute performance Exentec, conçues pour les applications de laboratoire où le confinement des fumées dangereuses est critique.