Systèmes de gaz en vrac de haute pureté

Systèmes de gaz en vrac de haute pureté

Les systèmes de gaz en vrac de haute pureté d'Exentec offrent des solutions clés en main ou spécialisées pour une distribution sûre et efficace des gaz dans des industries telles que la fabrication de semi-conducteurs. Des commandes de pipeline aux skids de purification, les systèmes sont entièrement personnalisables pour divers types de gaz, maximisant la sécurité, la productivité et la valeur du cycle de vie.

Systèmes de gaz spéciaux de haute pureté

Systèmes de gaz spéciaux de haute pureté

Les systèmes de gaz spéciaux de haute pureté d'Exentec sont dotés d'un contrôle PLC/HMI entièrement intégré avec accès à distance et régulation de pression automatisée pour un débit de gaz précis et ininterrompu. Conçus pour des armoires compactes, ils réduisent les interventions manuelles de 30%, minimisent les fluctuations de pression et améliorent la sécurité grâce à une automatisation complète.

Armoires à gaz

Armoires à gaz

Les armoires à gaz d'Exentec offrent des configurations flexibles et un temps de fonctionnement de 99,999 %, avec des solutions standard et personnalisées adaptées à des applications spécifiques. Les options comprennent le contrôle manuel ou entièrement automatisé, des configurations de 1 à 3 bouteilles et des panneaux de purge/process intégrés, tous conçus pour la sécurité, la fiabilité et la facilité d'utilisation.

Systèmes de mélangeurs à gaz

Systèmes de mélangeurs à gaz

Les systèmes de mélange de gaz d'Exentec permettent un mélange de gaz précis et automatisé jusqu'à 250 slpm, avec une surveillance en temps réel et une précision de ±0,3 %. Équipé d'un contrôle PLC, d'un analyseur intégré et de fonctions de sécurité dans un boîtier compact, conforme à la norme SEMI-F14, il garantit des performances fiables pour les applications exigeantes.

Boîtes à clapets

Boîtes à clapets

La Valve Manifold Box (VMB) d'Exentec permet une distribution sûre et fiable des gaz avec jusqu'à 8 cannes, avec un contrôle manuel ou entièrement automatique et une purge et un vide N₂ en option pour l'entretien. Disponibles en version panneau ou armoire d'extraction, les VMB offrent des fonctions de sécurité avancées, une double isolation et des accessoires personnalisables pour les applications de gaz inertes ou dangereux.

Panneaux du collecteur de soupapes

Panneaux du collecteur de soupapes

L'équipe d'Exentec chargée de l'approvisionnement en fluides de haute pureté propose des panneaux de gaz innovants et fiables, qui s'appuient sur une expérience approfondie en matière de fabrication et d'installation. Les options de panneaux comprennent des configurations automatiques, manuelles, modulaires et de purge, telles que les panneaux Auto-Crossover qui garantissent un flux de gaz ininterrompu en changeant automatiquement de bouteille lorsque l'une d'entre elles est épuisée.

Panneaux du collecteur de soupapes

Panneaux du collecteur de soupapes

L'équipe d'Exentec chargée de l'approvisionnement en fluides de haute pureté propose des panneaux de gaz innovants et fiables, qui s'appuient sur une expérience approfondie en matière de fabrication et d'installation. Les options de panneaux comprennent des configurations automatiques, manuelles, modulaires et de purge, telles que les panneaux Auto-Crossover qui garantissent un flux de gaz ininterrompu en changeant automatiquement de bouteille lorsque l'une d'entre elles est épuisée.

Systèmes d'administration de précurseurs Liquide

Systèmes d'administration de précurseurs Liquide

Le système de distribution Liquide (précurseur) d'Exentec est un système de distribution de produits chimiques conçu pour maximiser l'efficacité et la performance. Le système autonome comprend des panneaux redondants avec une capacité d'auto-croisement pour un temps de fonctionnement accru > 99,9 %. L'encombrement réduit avec une grande capacité de traitement est conçu pour distribuer des produits chimiques liquides par l'intermédiaire d'un gaz de poussée.

Contrôleurs de systèmes de distribution de gaz

Contrôleurs de systèmes de distribution de gaz

Exentec offre une gamme polyvalente de contrôleurs de systèmes de distribution de gaz, personnalisables en fonction des types de gaz, des routines de purge et des plates-formes de contrôle. Les options comprennent des contrôleurs VMB manuels ou entièrement automatisés (4 ou 8 bâtons) avec des automates Allen-Bradley ou Siemens, ainsi que des modèles personnalisés et de remplacement direct comme l'AVMB4S et l'AVMB8S pour les mises à niveau de systèmes existants.

Système de distribution de vapeur

Système de distribution de vapeur

Le système de distribution de vapeur d'Exentec est une solution compacte et de haute pureté pour la distribution précise de vapeur chimique dans les applications de fabrication avancée. Doté d'un bulleur en acier inoxydable, d'un refroidisseur optionnel et d'une commande intelligente dans un boîtier durable, il assure un débit de vapeur constant, une intégration flexible et une sécurité accrue pour les processus tels que l'ALD, la CVD et l'épitaxie.

Conteneur d'approvisionnement en gaz personnalisé

Conteneur d'approvisionnement en gaz personnalisé

Les conteneurs d'approvisionnement en gaz "Plug & Process" d'Exentec sont des systèmes modulaires préfabriqués conçus pour un déploiement rapide et rentable d'une infrastructure de gaz de très haute pureté. Entièrement personnalisables et automatisés, ils intègrent des systèmes de sécurité, de ventilation et de contrôle, offrant ainsi des solutions évolutives et peu encombrantes avec un support expert à long terme.

Installations et connexions de machines

Installations et connexions de machines

Notre service interne de CAO développe et conçoit des composants que nous fabriquons dans nos sites de production spécialisés. Nos experts traitent des tubes en acier inoxydable dans une large gamme de qualités en utilisant des procédés de soudure orbitale ou manuelle. Nous utilisons des techniques d'assemblage telles que :

  • Technologie VCR
  • Raccord de tuyauterie
  • Technologie des brides
  • Systèmes de raccords à la presse
  • Traitement des matières plastiques (soudage, collage)
Salle blanche

Des solutions supérieures et des services complets

Mini environnements
Centrales de traitement d'air
Sous-systèmes critiques et environnements contrôlés
Approvisionnement en gaz
Approvisionnement en produits chimiques

Systèmes de mélange et de distribution de produits chimiques et de boues de très haute pureté

Ampoules et capteurs
Échappement du processus