Exentec fournit des systèmes d'alimentation en gaz de haute pureté - des composants individuels aux solutions clés en main - adaptés aux laboratoires et aux environnements de production. Les options vont des armoires à gaz entièrement automatiques aux armoires à gaz manuelles, avec sécurité intégrée, surveillance et distribution de gaz de haute pureté pour une fiabilité et une conformité maximales.
Les capacités de production de notre entreprise nous permettent de fabriquer des systèmes complexes de manière rapide et flexible, même dans des conditions de salle blanche. Lors de l'assemblage en salle blanche ou de la fabrication d'équipements sur mesure, notre expertise en matière de technologie de soudage, de contrôle des processus et de technologie d'automatisation, ainsi que d'essais et de contrôle de la qualité, est parfaitement imbriquée.
Systèmes de gaz en vrac de haute pureté
Les systèmes de gaz en vrac de haute pureté d'Exentec offrent des solutions clés en main ou spécialisées pour une distribution sûre et efficace des gaz dans des industries telles que la fabrication de semi-conducteurs. Des commandes de pipeline aux skids de purification, les systèmes sont entièrement personnalisables pour divers types de gaz, maximisant la sécurité, la productivité et la valeur du cycle de vie.
Systèmes de gaz spéciaux de haute pureté
Les systèmes de gaz spéciaux de haute pureté d'Exentec sont dotés d'un contrôle PLC/HMI entièrement intégré avec accès à distance et régulation de pression automatisée pour un débit de gaz précis et ininterrompu. Conçus pour des armoires compactes, ils réduisent les interventions manuelles de 30%, minimisent les fluctuations de pression et améliorent la sécurité grâce à une automatisation complète.
Armoires à gaz
Les armoires à gaz d'Exentec offrent des configurations flexibles et un temps de fonctionnement de 99,999 %, avec des solutions standard et personnalisées adaptées à des applications spécifiques. Les options comprennent le contrôle manuel ou entièrement automatisé, des configurations de 1 à 3 bouteilles et des panneaux de purge/process intégrés, tous conçus pour la sécurité, la fiabilité et la facilité d'utilisation.
Systèmes de mélangeurs à gaz
Les systèmes de mélange de gaz d'Exentec permettent un mélange de gaz précis et automatisé jusqu'à 250 slpm, avec une surveillance en temps réel et une précision de ±0,3 %. Équipé d'un contrôle PLC, d'un analyseur intégré et de fonctions de sécurité dans un boîtier compact, conforme à la norme SEMI-F14, il garantit des performances fiables pour les applications exigeantes.
Boîtes à clapets
La Valve Manifold Box (VMB) d'Exentec permet une distribution sûre et fiable des gaz avec jusqu'à 8 cannes, avec un contrôle manuel ou entièrement automatique et une purge et un vide N₂ en option pour l'entretien. Disponibles en version panneau ou armoire d'extraction, les VMB offrent des fonctions de sécurité avancées, une double isolation et des accessoires personnalisables pour les applications de gaz inertes ou dangereux.
Panneaux du collecteur de soupapes
L'équipe d'Exentec chargée de l'approvisionnement en fluides de haute pureté propose des panneaux de gaz innovants et fiables, qui s'appuient sur une expérience approfondie en matière de fabrication et d'installation. Les options de panneaux comprennent des configurations automatiques, manuelles, modulaires et de purge, telles que les panneaux Auto-Crossover qui garantissent un flux de gaz ininterrompu en changeant automatiquement de bouteille lorsque l'une d'entre elles est épuisée.
Panneaux du collecteur de soupapes
L'équipe d'Exentec chargée de l'approvisionnement en fluides de haute pureté propose des panneaux de gaz innovants et fiables, qui s'appuient sur une expérience approfondie en matière de fabrication et d'installation. Les options de panneaux comprennent des configurations automatiques, manuelles, modulaires et de purge, telles que les panneaux Auto-Crossover qui garantissent un flux de gaz ininterrompu en changeant automatiquement de bouteille lorsque l'une d'entre elles est épuisée.
Systèmes d'administration de précurseurs Liquide
Le système de distribution Liquide (précurseur) d'Exentec est un système de distribution de produits chimiques conçu pour maximiser l'efficacité et la performance. Le système autonome comprend des panneaux redondants avec une capacité d'auto-croisement pour un temps de fonctionnement accru > 99,9 %. L'encombrement réduit avec une grande capacité de traitement est conçu pour distribuer des produits chimiques liquides par l'intermédiaire d'un gaz de poussée.
Contrôleurs de systèmes de distribution de gaz
Exentec offre une gamme polyvalente de contrôleurs de systèmes de distribution de gaz, personnalisables en fonction des types de gaz, des routines de purge et des plates-formes de contrôle. Les options comprennent des contrôleurs VMB manuels ou entièrement automatisés (4 ou 8 bâtons) avec des automates Allen-Bradley ou Siemens, ainsi que des modèles personnalisés et de remplacement direct comme l'AVMB4S et l'AVMB8S pour les mises à niveau de systèmes existants.
Système de distribution de vapeur
Le système de distribution de vapeur d'Exentec est une solution compacte et de haute pureté pour la distribution précise de vapeur chimique dans les applications de fabrication avancée. Doté d'un bulleur en acier inoxydable, d'un refroidisseur optionnel et d'une commande intelligente dans un boîtier durable, il assure un débit de vapeur constant, une intégration flexible et une sécurité accrue pour les processus tels que l'ALD, la CVD et l'épitaxie.
Conteneur d'approvisionnement en gaz personnalisé
Les conteneurs d'approvisionnement en gaz "Plug & Process" d'Exentec sont des systèmes modulaires préfabriqués conçus pour un déploiement rapide et rentable d'une infrastructure de gaz de très haute pureté. Entièrement personnalisables et automatisés, ils intègrent des systèmes de sécurité, de ventilation et de contrôle, offrant ainsi des solutions évolutives et peu encombrantes avec un support expert à long terme.
Installations et connexions de machines
Notre service interne de CAO développe et conçoit des composants que nous fabriquons dans nos sites de production spécialisés. Nos experts traitent des tubes en acier inoxydable dans une large gamme de qualités en utilisant des procédés de soudure orbitale ou manuelle. Nous utilisons des techniques d'assemblage telles que :
- Technologie VCR
- Raccord de tuyauterie
- Technologie des brides
- Systèmes de raccords à la presse
- Traitement des matières plastiques (soudage, collage)
Salle blanche
Des solutions supérieures et des services complets
Nous développons, produisons et entretenons des produits de salle blanche et des environnements de production fiables pour des atmosphères contrôlées ultra-propres.
Mini environnements
Sur le marché des batteries, Exentec est le pionnier d'un concept modulaire unique, Mini Environment, qui intègre la réduction de la consommation d'énergie et les améliorations technologiques.
Centrales de traitement d'air
Les centrales de traitement d'air d'Exentec se distinguent par leur efficacité énergétique. Notre équipe de recherche et développement travaille avec des équipements de pointe et apporte toujours les connaissances les plus récentes.
Sous-systèmes critiques et environnements contrôlés
Systèmes d'alimentation en milieux purs pour les produits sensibles
Approvisionnement en gaz
Infrastructures et systèmes d'approvisionnement en gaz de haute pureté
Approvisionnement en produits chimiques
Systèmes de mélange et de distribution de produits chimiques et de boues de très haute pureté
Systèmes de mélange et de distribution de produits chimiques et de boues de très haute pureté
Ampoules et capteurs
Nous fabriquons des capteurs de niveau de liquide, des produits chimiques pyrophoriques et des ampoules, cylindres et bidons DOT 4B largement utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs, de l'énergie photovoltaïque et des batteries.
Échappement du processus
Nous définissons la norme industrielle en matière de systèmes d'évacuation des fumées corrosives sûrs et fiables.
Réduction des émissions de gaz
Nous sommes un fournisseur de choix pour les grandes entreprises de semi-conducteurs du monde entier, fournissant des solutions de réduction des gaz au point d'utilisation (POU) pour les outils de processus de dépôt, de gravure et de diffusion.
Solutions biopharmaceutiques
Nous prenons en charge toutes les étapes critiques de la fabrication biopharmaceutique
Bancs humides
Nous sommes spécialisés dans la conception de systèmes de préparation de surface où les exigences de l'application et les performances de l'équipement s'harmonisent parfaitement.
Nos outils intègrent du matériel de traitement, des logiciels de contrôle avancés et des robots automatisés pour fournir des solutions personnalisées, depuis les bancs manuels à processus unique jusqu'aux systèmes de manipulation de plaquettes entièrement automatisés.
Nous prenons en charge une large gamme de substrats et de matériaux :
- Plaquettes (100 mm - 300 mm)
- Matériaux semi-conducteurs III-V
- Photomasques
- Fixations en verre et en quartz
- Collecteurs personnalisés et supports spéciaux
Nos ingénieurs peuvent également concevoir des effecteurs et des supports de substrat sur mesure pour répondre à vos besoins spécifiques en matière de processus et de manipulation.
- Nettoyage, bandes de réserve, gravure, développement, décollement du métal, récupération de l'IPA et séchage
- Utilisable pour les applications acides, basiques et solvants
- Bains à une ou plusieurs cassettes
- Équipement de traitement configurable et évolutif.
Notre équipe a l'expérience d'un large éventail d'applications, notamment dans les domaines FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch et E-less Deposition. Nous disposons également d'agencements de bains humides standard pour de nombreuses applications telles que :
- Gravure humide - Gravure au silicium (KOH), gravure au nitrure, gravure à l'oxyde tamponné, bande de photorésine et gravure à l'or/platine.
- Décollage des métaux - configurations NMP et DMSO
- Nettoyage des plaquettes - Prise en charge des bains HF, Piranha, SC1, SC2
Nos outils de traitement peuvent être configurés avec une gamme complète de systèmes d'assistance pour améliorer l'automatisation, la sécurité et la gestion des produits chimiques :
- Systèmes de manipulation des produits chimiques
- Chariots de produits chimiques pour la distribution, le retrait et le stockage
- Bouteilles embarquées pour la collecte des déchets
- Stations de relevage pour la neutralisation des déchets
- Matériel d'optimisation des processus
- Circulateurs à température contrôlée (WHRV)
- Chauffage : jusqu'à 5115 BTU/hr
- Refroidissement : jusqu'à 2550 BTU/hr
- Bains à recirculation pour une température et un débit constants
- Réservoirs en quartz pour la résistance aux produits chimiques
- Rinceuses à vidange rapide (QDR)
- Modes immersion, cascade et pulvérisation
Nos systèmes de préparation de surface sont évolutifs et prêts à être intégrés dans les salles blanches, les laboratoires de recherche et développement et les fabs à grand volume. Que vous travailliez avec des substrats standard ou des matériaux uniques, notre équipe peut vous fournir une plateforme prête à l'emploi adaptée à vos besoins.
Systèmes à boues
Nos outils intègrent du matériel de traitement, des logiciels de contrôle avancés et des robots automatisés pour fournir des solutions personnalisées, depuis les bancs manuels à processus unique jusqu'aux systèmes de manipulation de plaquettes entièrement automatisés.
Nous prenons en charge une large gamme de substrats et de matériaux :
- Plaquettes (100 mm - 300 mm)
- Matériaux semi-conducteurs III-V
- Photomasques
- Fixations en verre et en quartz
- Collecteurs personnalisés et supports spécialisés
Nos ingénieurs peuvent également concevoir des effecteurs et des supports de substrat sur mesure pour répondre à vos besoins spécifiques en matière de processus et de manipulation.
- Nettoyage, bandes de réserve, gravure, développement, décollement du métal, récupération de l'IPA et séchage
- Utilisable pour les applications acides, basiques et solvants
- Bains à une ou plusieurs cassettes
- Équipement de traitement configurable et évolutif.
Notre équipe a l'expérience d'un large éventail d'applications, notamment dans les domaines FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch et E-less Deposition. Nous disposons également d'agencements de bains humides standard pour de nombreuses applications telles que :
- Gravure humide - Gravure au silicium (KOH), gravure au nitrure, gravure à l'oxyde tamponné, bande de photorésine et gravure à l'or/platine.
- Décollage des métaux - configurations NMP et DMSO
- Nettoyage des plaquettes - Prise en charge des bains HF, Piranha, SC1, SC2
Nos outils de traitement peuvent être configurés avec une gamme complète de systèmes d'assistance pour améliorer l'automatisation, la sécurité et la gestion des produits chimiques :
- Systèmes de manipulation des produits chimiques
- Chariots de produits chimiques pour la distribution, le retrait et le stockage
- Bouteilles embarquées pour la collecte des déchets
- Stations de relevage pour la neutralisation des déchets
- Matériel d'optimisation des processus
- Circulateurs à température contrôlée (WHRV)
- Chauffage : jusqu'à 5115 BTU/hr
- Refroidissement : jusqu'à 2550 BTU/hr
- Bains à recirculation pour une température et un débit constants
- Réservoirs en quartz pour la résistance aux produits chimiques
- Rinceuses à vidange rapide (QDR)
- Modes immersion, cascade et pulvérisation
Nos systèmes de préparation de surface sont évolutifs et prêts à être intégrés dans les salles blanches, les laboratoires de recherche et développement et les fabs à grand volume. Que vous travailliez avec des substrats standard ou des matériaux uniques, notre équipe peut vous fournir une plateforme prête à l'emploi adaptée à vos besoins.