Sur le marché des batteries, Exentec est le pionnier d'un concept modulaire unique de mini-environnement, qui intègre la réduction de la consommation d'énergie et les améliorations technologiques. Ces mini-environnements sont des enceintes dédiées aux processus qui couvrent des étapes individuelles du processus, fonctionnant comme des mini-chambres de traitement à sec autonomes et entièrement automatisées. À première vue, ils ressemblent à de simples enceintes de sécurité, mais leurs avantages concrets sont encore plus impressionnants. Les mini environnements permettent à l'industrie des batteries de réduire considérablement la consommation d'énergie, de diminuer les coûts d'exploitation et surtout d'améliorer leur bilan environnemental global.
DRYOON®
Mini environnements - L'air sec exclusivement au point d'utilisation est au cœur de la réussite.
Expertise
L'expertise éprouvée d'Exentec et sa compréhension des processus de la batterie contribuent à la conception individuelle de notre concept modulaire DRYOON®.
Salle blanche
Des solutions supérieures et des services complets
Nous développons, produisons et entretenons des produits de salle blanche et des environnements de production fiables pour des atmosphères contrôlées ultra-propres.
Mini environnements
Sur le marché des batteries, Exentec est le pionnier d'un concept modulaire unique, Mini Environment, qui intègre la réduction de la consommation d'énergie et les améliorations technologiques.
Centrales de traitement d'air
Les centrales de traitement d'air d'Exentec se distinguent par leur efficacité énergétique. Notre équipe de recherche et développement travaille avec des équipements de pointe et apporte toujours les connaissances les plus récentes.
Sous-systèmes critiques et environnements contrôlés
Systèmes d'alimentation en milieux purs pour les produits sensibles
Approvisionnement en gaz
Infrastructures et systèmes d'approvisionnement en gaz de haute pureté
Approvisionnement en produits chimiques
Systèmes de mélange et de distribution de produits chimiques et de boues de très haute pureté
Systèmes de mélange et de distribution de produits chimiques et de boues de très haute pureté
Ampoules et capteurs
Nous fabriquons des capteurs de niveau de liquide, des produits chimiques pyrophoriques et des ampoules, cylindres et bidons DOT 4B largement utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs, de l'énergie photovoltaïque et des batteries.
Échappement du processus
Nous définissons la norme industrielle en matière de systèmes d'évacuation des fumées corrosives sûrs et fiables.
Réduction des émissions de gaz
Nous sommes un fournisseur de choix pour les grandes entreprises de semi-conducteurs du monde entier, fournissant des solutions de réduction des gaz au point d'utilisation (POU) pour les outils de processus de dépôt, de gravure et de diffusion.
Solutions biopharmaceutiques
Nous prenons en charge toutes les étapes critiques de la fabrication biopharmaceutique
Bancs humides
Nous sommes spécialisés dans la conception de systèmes de préparation de surface où les exigences de l'application et les performances de l'équipement s'harmonisent parfaitement.
Nos outils intègrent du matériel de traitement, des logiciels de contrôle avancés et des robots automatisés pour fournir des solutions personnalisées, depuis les bancs manuels à processus unique jusqu'aux systèmes de manipulation de plaquettes entièrement automatisés.
Nous prenons en charge une large gamme de substrats et de matériaux :
- Plaquettes (100 mm - 300 mm)
- Matériaux semi-conducteurs III-V
- Photomasques
- Fixations en verre et en quartz
- Collecteurs personnalisés et supports spéciaux
Nos ingénieurs peuvent également concevoir des effecteurs et des supports de substrat sur mesure pour répondre à vos besoins spécifiques en matière de processus et de manipulation.
- Nettoyage, bandes de réserve, gravure, développement, décollement du métal, récupération de l'IPA et séchage
- Utilisable pour les applications acides, basiques et solvants
- Bains à une ou plusieurs cassettes
- Équipement de traitement configurable et évolutif.
Notre équipe a l'expérience d'un large éventail d'applications, notamment dans les domaines FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch et E-less Deposition. Nous disposons également d'agencements de bains humides standard pour de nombreuses applications telles que :
- Gravure humide - Gravure au silicium (KOH), gravure au nitrure, gravure à l'oxyde tamponné, bande de photorésine et gravure à l'or/platine.
- Décollage des métaux - configurations NMP et DMSO
- Nettoyage des plaquettes - Prise en charge des bains HF, Piranha, SC1, SC2
Nos outils de traitement peuvent être configurés avec une gamme complète de systèmes d'assistance pour améliorer l'automatisation, la sécurité et la gestion des produits chimiques :
- Systèmes de manipulation des produits chimiques
- Chariots de produits chimiques pour la distribution, le retrait et le stockage
- Bouteilles embarquées pour la collecte des déchets
- Stations de relevage pour la neutralisation des déchets
- Matériel d'optimisation des processus
- Circulateurs à température contrôlée (WHRV)
- Chauffage : jusqu'à 5115 BTU/hr
- Refroidissement : jusqu'à 2550 BTU/hr
- Bains à recirculation pour une température et un débit constants
- Réservoirs en quartz pour la résistance aux produits chimiques
- Rinceuses à vidange rapide (QDR)
- Modes immersion, cascade et pulvérisation
Nos systèmes de préparation de surface sont évolutifs et prêts à être intégrés dans les salles blanches, les laboratoires de recherche et développement et les fabs à grand volume. Que vous travailliez avec des substrats standard ou des matériaux uniques, notre équipe peut vous fournir une plateforme prête à l'emploi adaptée à vos besoins.
Systèmes à boues
Nos outils intègrent du matériel de traitement, des logiciels de contrôle avancés et des robots automatisés pour fournir des solutions personnalisées, depuis les bancs manuels à processus unique jusqu'aux systèmes de manipulation de plaquettes entièrement automatisés.
Nous prenons en charge une large gamme de substrats et de matériaux :
- Plaquettes (100 mm - 300 mm)
- Matériaux semi-conducteurs III-V
- Photomasques
- Fixations en verre et en quartz
- Collecteurs personnalisés et supports spécialisés
Nos ingénieurs peuvent également concevoir des effecteurs et des supports de substrat sur mesure pour répondre à vos besoins spécifiques en matière de processus et de manipulation.
- Nettoyage, bandes de réserve, gravure, développement, décollement du métal, récupération de l'IPA et séchage
- Utilisable pour les applications acides, basiques et solvants
- Bains à une ou plusieurs cassettes
- Équipement de traitement configurable et évolutif.
Notre équipe a l'expérience d'un large éventail d'applications, notamment dans les domaines FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch et E-less Deposition. Nous disposons également d'agencements de bains humides standard pour de nombreuses applications telles que :
- Gravure humide - Gravure au silicium (KOH), gravure au nitrure, gravure à l'oxyde tamponné, bande de photorésine et gravure à l'or/platine.
- Décollage des métaux - configurations NMP et DMSO
- Nettoyage des plaquettes - Prise en charge des bains HF, Piranha, SC1, SC2
Nos outils de traitement peuvent être configurés avec une gamme complète de systèmes d'assistance pour améliorer l'automatisation, la sécurité et la gestion des produits chimiques :
- Systèmes de manipulation des produits chimiques
- Chariots de produits chimiques pour la distribution, le retrait et le stockage
- Bouteilles embarquées pour la collecte des déchets
- Stations de relevage pour la neutralisation des déchets
- Matériel d'optimisation des processus
- Circulateurs à température contrôlée (WHRV)
- Chauffage : jusqu'à 5115 BTU/hr
- Refroidissement : jusqu'à 2550 BTU/hr
- Bains à recirculation pour une température et un débit constants
- Réservoirs en quartz pour la résistance aux produits chimiques
- Rinceuses à vidange rapide (QDR)
- Modes immersion, cascade et pulvérisation
Nos systèmes de préparation de surface sont évolutifs et prêts à être intégrés dans les salles blanches, les laboratoires de recherche et développement et les fabs à grand volume. Que vous travailliez avec des substrats standard ou des matériaux uniques, notre équipe peut vous fournir une plateforme prête à l'emploi adaptée à vos besoins.