Exentec est le fournisseur de choix des grandes entreprises de semi-conducteurs du monde entier, fournissant des solutions de réduction des gaz au point d'utilisation (POU) pour les outils de processus de dépôt, de gravure et de diffusion.
Nos systèmes comptent parmi les épurateurs Epi les plus efficaces et les plus fiables du marché. Nous combinons la technologie des dispositifs d'entrée avec un boîtier de commande basé sur un PLC et un piston d'entrée de gaz automatisé pour produire un système de réduction des émissions d'épi nécessitant peu d'entretien. Ces performances se traduisent par un temps de fonctionnement plus élevé, une plus grande stabilité du processus et une sécurité accrue. Nos systèmes combinent deux chambres de pulvérisation et une colonne à garnissage pour produire des rendements parmi les plus élevés de l'industrie.
Encompass
Ce système de réduction Wet-Burn-Wet, le premier de l'industrie,combine deux technologies de réduction par voie humide (Wet + Burn/Wet) en une seule plateforme, permettant une élimination efficace des gaz solubles dans l'eau avant le brûleur.
Cyclone
Le système d'abattement humide Cyclone d'Exentec est notre modèle phare qui comprend toutes les caractéristiques avancées qui permettent d'éviter tout temps d'arrêt de l'outil de traitement lié au système.
Cyclone XL
Le Cyclone XL, notre plus récent système de dépollution par voie humide à haute capacité et à haute efficacité, est doté d'une buse à jet grossier et à haut débit qui recouvre la première chambre de lavage et élimine les impuretés en vrac. Sa position stratégique augmente l'efficacité, minimise la consommation d'eau et élimine la mousse.
Salle blanche
Des solutions supérieures et des services complets
Nous développons, produisons et entretenons des produits de salle blanche et des environnements de production fiables pour des atmosphères contrôlées ultra-propres.
Mini environnements
Sur le marché des batteries, Exentec est le pionnier d'un concept modulaire unique, Mini Environment, qui intègre la réduction de la consommation d'énergie et les améliorations technologiques.
Centrales de traitement d'air
Les centrales de traitement d'air d'Exentec se distinguent par leur efficacité énergétique. Notre équipe de recherche et développement travaille avec des équipements de pointe et apporte toujours les connaissances les plus récentes.
Sous-systèmes critiques et environnements contrôlés
Systèmes d'alimentation en milieux purs pour les produits sensibles
Approvisionnement en gaz
Infrastructures et systèmes d'approvisionnement en gaz de haute pureté
Approvisionnement en produits chimiques
Systèmes de mélange et de distribution de produits chimiques et de boues de très haute pureté
Systèmes de mélange et de distribution de produits chimiques et de boues de très haute pureté
Ampoules et capteurs
Nous fabriquons des capteurs de niveau de liquide, des produits chimiques pyrophoriques et des ampoules, cylindres et bidons DOT 4B largement utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs, de l'énergie photovoltaïque et des batteries.
Échappement du processus
Nous définissons la norme industrielle en matière de systèmes d'évacuation des fumées corrosives sûrs et fiables.