Exentec est spécialisée dans les systèmes chimiques et gazeux de très haute pureté pour l'industrie des semi-conducteurs. Notre portefeuille comprend des équipements de mélange et de distribution pour une large gamme d'applications dans les produits chimiques aqueux et les boues CMP.
En outre, nous fournissons les services de soutien sur le terrain, les contrôles, l'intégration et l'expertise technique nécessaires pour répondre aux besoins rigoureux en matière de contrôle des processus de semi-conducteurs.
Nos systèmes fiables offrent :
- un contrôle avancé des processus en boucle fermée, piloté par la métrologie
- Contrôle automatisé de la qualité des produits chimiques et des boues
- Des systèmes de distribution et de mélange flexibles, évolutifs et précis
- Un contrôle accru du processus grâce à la concentration du mélange et au contrôle de la pression
- Intégration transparente dans le système SCADA avec support I&C complet
- Espace au sol optimal
- Temps de fonctionnement maximal
Systèmes chimiques de haute pureté
Exentec propose des équipements, un service d'assistance sur le terrain et une expertise technique pour répondre aux divers besoins d'application de fluides de haute pureté, de mélanges chimiques et de systèmes de boues CMP de pointe pour la fabrication de semi-conducteurs et d'autres industries de haute technologie.
Déchargement de produits chimiques
Assurer un transfert continu des produits chimiques des réservoirs principaux vers les réservoirs de distribution de la production avec une redondance du système et/ou des composants pour maximiser le temps de fonctionnement de la production.
Distribution de produits chimiques
Nos systèmes de distribution de produits chimiques améliorent les processus, optimisent l'espace au sol, minimisent les temps d'arrêt et prolongent la durée de vie des produits, réduisant ainsi le coût global de possession.
Mélange en ligne
La technologie brevetée de mélange de produits chimiques en ligne et de fourniture de solutions chimiques à la demande d'Exentec tient compte des changements dynamiques de débit à la demande des utilisateurs finaux ou des points d'utilisation, tout en maintenant la précision du mélange.
Génération chimique
Grâce à la technologie intégrée de génération de produits chimiques sur site NH4OHd'Exentec, les usines de semi-conducteurs peuvent réduire de manière significative leurs coûts globaux d'approvisionnement en produits chimiques, augmenter la qualité, renforcer la résilience contre les perturbations de la chaîne d'approvisionnement et améliorer la durabilité écologique.
Mélange et livraison de boues CMP
Éliminer les métrologies hors ligne coûteuses en main-d'œuvre et les ajustements manuels des procédés. Exentec a développé avec succès une technologie de contrôle embarquée qui permet de contrôler en boucle fermée une solution de boue CMP pour semi-conducteurs spécifique au client dans les opérations de mélange et de distribution.
Salle blanche
Des solutions supérieures et des services complets
Nous développons, produisons et entretenons des produits de salle blanche et des environnements de production fiables pour des atmosphères contrôlées ultra-propres.
Mini environnements
Sur le marché des batteries, Exentec est le pionnier d'un concept modulaire unique, Mini Environment, qui intègre la réduction de la consommation d'énergie et les améliorations technologiques.
Centrales de traitement d'air
Les centrales de traitement d'air d'Exentec se distinguent par leur efficacité énergétique. Notre équipe de recherche et développement travaille avec des équipements de pointe et apporte toujours les connaissances les plus récentes.
Sous-systèmes critiques et environnements contrôlés
Systèmes d'alimentation en milieux purs pour les produits sensibles
Approvisionnement en gaz
Infrastructures et systèmes d'approvisionnement en gaz de haute pureté
Approvisionnement en produits chimiques
Systèmes de mélange et de distribution de produits chimiques et de boues de très haute pureté
Systèmes de mélange et de distribution de produits chimiques et de boues de très haute pureté
Ampoules et capteurs
Nous fabriquons des capteurs de niveau de liquide, des produits chimiques pyrophoriques et des ampoules, cylindres et bidons DOT 4B largement utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs, de l'énergie photovoltaïque et des batteries.
Échappement du processus
Nous définissons la norme industrielle en matière de systèmes d'évacuation des fumées corrosives sûrs et fiables.
Réduction des émissions de gaz
Nous sommes un fournisseur de choix pour les grandes entreprises de semi-conducteurs du monde entier, fournissant des solutions de réduction des gaz au point d'utilisation (POU) pour les outils de processus de dépôt, de gravure et de diffusion.
Solutions biopharmaceutiques
Nous prenons en charge toutes les étapes critiques de la fabrication biopharmaceutique
Bancs humides
Nous sommes spécialisés dans la conception de systèmes de préparation de surface où les exigences de l'application et les performances de l'équipement s'harmonisent parfaitement.
Nos outils intègrent du matériel de traitement, des logiciels de contrôle avancés et des robots automatisés pour fournir des solutions personnalisées, depuis les bancs manuels à processus unique jusqu'aux systèmes de manipulation de plaquettes entièrement automatisés.
Nous prenons en charge une large gamme de substrats et de matériaux :
- Plaquettes (100 mm - 300 mm)
- Matériaux semi-conducteurs III-V
- Photomasques
- Fixations en verre et en quartz
- Collecteurs personnalisés et supports spéciaux
Nos ingénieurs peuvent également concevoir des effecteurs et des supports de substrat sur mesure pour répondre à vos besoins spécifiques en matière de processus et de manipulation.
- Nettoyage, bandes de réserve, gravure, développement, décollement du métal, récupération de l'IPA et séchage
- Utilisable pour les applications acides, basiques et solvants
- Bains à une ou plusieurs cassettes
- Équipement de traitement configurable et évolutif.
Notre équipe a l'expérience d'un large éventail d'applications, notamment dans les domaines FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch et E-less Deposition. Nous disposons également d'agencements de bains humides standard pour de nombreuses applications telles que :
- Gravure humide - Gravure au silicium (KOH), gravure au nitrure, gravure à l'oxyde tamponné, bande de photorésine et gravure à l'or/platine.
- Décollage des métaux - configurations NMP et DMSO
- Nettoyage des plaquettes - Prise en charge des bains HF, Piranha, SC1, SC2
Nos outils de traitement peuvent être configurés avec une gamme complète de systèmes d'assistance pour améliorer l'automatisation, la sécurité et la gestion des produits chimiques :
- Systèmes de manipulation des produits chimiques
- Chariots de produits chimiques pour la distribution, le retrait et le stockage
- Bouteilles embarquées pour la collecte des déchets
- Stations de relevage pour la neutralisation des déchets
- Matériel d'optimisation des processus
- Circulateurs à température contrôlée (WHRV)
- Chauffage : jusqu'à 5115 BTU/hr
- Refroidissement : jusqu'à 2550 BTU/hr
- Bains à recirculation pour une température et un débit constants
- Réservoirs en quartz pour la résistance aux produits chimiques
- Rinceuses à vidange rapide (QDR)
- Modes immersion, cascade et pulvérisation
Nos systèmes de préparation de surface sont évolutifs et prêts à être intégrés dans les salles blanches, les laboratoires de recherche et développement et les fabs à grand volume. Que vous travailliez avec des substrats standard ou des matériaux uniques, notre équipe peut vous fournir une plateforme prête à l'emploi adaptée à vos besoins.
Systèmes à boues
Nos outils intègrent du matériel de traitement, des logiciels de contrôle avancés et des robots automatisés pour fournir des solutions personnalisées, depuis les bancs manuels à processus unique jusqu'aux systèmes de manipulation de plaquettes entièrement automatisés.
Nous prenons en charge une large gamme de substrats et de matériaux :
- Plaquettes (100 mm - 300 mm)
- Matériaux semi-conducteurs III-V
- Photomasques
- Fixations en verre et en quartz
- Collecteurs personnalisés et supports spécialisés
Nos ingénieurs peuvent également concevoir des effecteurs et des supports de substrat sur mesure pour répondre à vos besoins spécifiques en matière de processus et de manipulation.
- Nettoyage, bandes de réserve, gravure, développement, décollement du métal, récupération de l'IPA et séchage
- Utilisable pour les applications acides, basiques et solvants
- Bains à une ou plusieurs cassettes
- Équipement de traitement configurable et évolutif.
Notre équipe a l'expérience d'un large éventail d'applications, notamment dans les domaines FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch et E-less Deposition. Nous disposons également d'agencements de bains humides standard pour de nombreuses applications telles que :
- Gravure humide - Gravure au silicium (KOH), gravure au nitrure, gravure à l'oxyde tamponné, bande de photorésine et gravure à l'or/platine.
- Décollage des métaux - configurations NMP et DMSO
- Nettoyage des plaquettes - Prise en charge des bains HF, Piranha, SC1, SC2
Nos outils de traitement peuvent être configurés avec une gamme complète de systèmes d'assistance pour améliorer l'automatisation, la sécurité et la gestion des produits chimiques :
- Systèmes de manipulation des produits chimiques
- Chariots de produits chimiques pour la distribution, le retrait et le stockage
- Bouteilles embarquées pour la collecte des déchets
- Stations de relevage pour la neutralisation des déchets
- Matériel d'optimisation des processus
- Circulateurs à température contrôlée (WHRV)
- Chauffage : jusqu'à 5115 BTU/hr
- Refroidissement : jusqu'à 2550 BTU/hr
- Bains à recirculation pour une température et un débit constants
- Réservoirs en quartz pour la résistance aux produits chimiques
- Rinceuses à vidange rapide (QDR)
- Modes immersion, cascade et pulvérisation
Nos systèmes de préparation de surface sont évolutifs et prêts à être intégrés dans les salles blanches, les laboratoires de recherche et développement et les fabs à grand volume. Que vous travailliez avec des substrats standard ou des matériaux uniques, notre équipe peut vous fournir une plateforme prête à l'emploi adaptée à vos besoins.