Mélange et livraison de boues CMP

Mélange et livraison de boues CMP
Suppression des métrologies hors ligne coûteuses en main-d'œuvre et des ajustements manuels des processus
Les fabriques de semi-conducteurs ont des limites de contrôle supérieures et inférieures (UCL / LCL) de plus en plus strictes pour un certain nombre de paramètres de processus critiques. Ces paramètres comprennent des fonctions connexes spécifiques à la concentration, et bien d'autres associées aux opérations de mélange et de distribution de boues CMP d'une action chimique critique donnée.
Pour y parvenir, la métrologie a connu des avancées majeures, variant selon les domaines et les principes, mais beaucoup ne sont aujourd'hui que des mesures ou des vérifications hors ligne, utilisées pour répondre aux exigences de précision et d'exactitude de ces limites de contrôle.
Pour éliminer le besoin d'instruments hors ligne, Exentec a une pratique éprouvée de caractérisation du polissage chimique et mécanique, où il est possible d'utiliser divers dispositifs de métrologie, ou des combinaisons de ces dispositifs, pour obtenir le meilleur contrôle métrologique en ligne de sa catégorie, avec le plus haut niveau de précision.
Exentec peut utiliser ce concert d'instruments pour obtenir des résultats en ligne en temps réel qui ont prouvé qu'ils atteignaient ou dépassaient les niveaux observés par de nombreuses méthodes hors ligne.
Les avantages
- Précision accrue des mélanges et contrôle en temps réel
- Temps de fonctionnement maximal
- Système entièrement automatisé
- Faible coût de possession
- IHM flexible et conviviale
- Redondance du système et/ou des composants pour maximiser le temps de production
- Rinçage automatisé du système
- Conceptions peu encombrantes
- Configuration et manipulation complètes des mélanges
Systèmes chimiques de haute pureté
Nous proposons des équipements, des services d'assistance sur le terrain et une expertise technique pour répondre aux différents besoins d'application de fluides de haute pureté, de mélanges chimiques et de systèmes de boues CMP de pointe pour la fabrication de semi-conducteurs et d'autres industries de haute technologie.
Déchargement de produits chimiques
Le système de transfert et de déchargement Exentec Titan™ transfère automatiquement un produit chimique aqueux de l'armoire de déchargement de la citerne vers les réservoirs de distribution principaux.
Distribution de produits chimiques
Exentec propose des équipements, des services d'assistance et une expertise technique pour répondre aux besoins des applications dans la conception et la fabrication de systèmes de distribution de produits chimiques de haute et de basse pureté.
Mélange en ligne
La technologie brevetée de mélange de produits chimiques en ligne et de fourniture de solutions chimiques à la demande d'Exentec peut s'adapter aux changements dynamiques de débit à la demande des utilisateurs finaux ou des points d'utilisation tout en maintenant la précision du mélange.
Génération chimique
La technologie de génération de produits chimiques sur site NH4OHd'Exentec aide les usines de semi-conducteurs à réduire de manière significative leurs coûts globaux d'approvisionnement en produits chimiques, à améliorer leur résilience et à accroître leur durabilité écologique.