Le système de distribution de vapeur d'Exentec est une solution compacte et autonome pour une distribution de vapeur chimique efficace et précise. Il comprend une cuve de barbotage en acier inoxydable, un refroidisseur intégré en option et un contrôleur de système, le tout dans un encombrement réduit. Les raccordements de l'installation, du gaz porteur et du processus peuvent être configurés de plusieurs côtés pour une installation flexible.

Vue d'ensemble du système :

• Le gaz vecteur bouillonne à travers le produit chimique liquide dans la cuve à l'aide d'un diffuseur de sparge pour une saturation élevée en vapeur.
• Un capteur de niveau linéaire actif maintient le niveau de liquide de consigne.
• Le contrôle de la température par une sonde et un refroidisseur optionnel assure un débit de vapeur constant.

Spécifications du boîtier :

• Dimensions : 16" L x 16" P x 74,25" H avec un tuyau d'échappement de 3". W x 16" D x 74.25" H avec 3" d'échappement
• Acier durable de calibre 11 avec revêtement résistant à la corrosion
• Enceinte intérieure soudée pour le confinement des produits chimiques
• Persiennes et plénum arrière pour une évacuation efficace des gaz
• Zones séparées pour les composants électriques, le refroidisseur et le gaz
• Caractéristiques de sécurité : Capteur d'évacuation, sprinkler UL, capteur d'incendie à taux d'élévation, portes avec joints d'étanchéité.

Options disponibles :

• Tailles du barboteur : 1, 5, 10 ou 20 litres
• Refroidisseur intégré
• Options de récupération : Vidange manuelle ou à distance, conduite de récupération
• Baguette de gaz vecteur : Manomètre/transmetteur en option, by-pass, vanne ESO

Les cuves à barbotage UHP d'Exentec permettent une distribution de vapeur à haute performance dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs, solaires et autres procédés avancés tels que ALD, PEALD, CVD et épitaxie.