Systèmes de contrôle climatique de précision
Systèmes de contrôle climatique de précision
Exentec fournit des systèmes de contrôle climatique de précision pour l'industrie des semi-conducteurs, la nanotechnologie et la production de supports de stockage optiques, qui nécessitent des processus et des environnements de mesure stables et constants.
Un climat adéquat garantit la qualité et réduit le taux de rejet en production. Les paramètres décisifs sont la stabilisation très précise de la température et de l'humidité, ainsi que l'assurance de la propreté de l'air en ce qui concerne les particules et la contamination chimique.
Armoires à eau de refroidissement
La solution d'Exentec consiste à séparer les circuits de refroidissement de l'usine et de l'outil, et à utiliser de l'eau ultra-pure (UPW) dans le circuit de l'outil.
Chambre de contrôle environnemental précis
Les chambres environnementales de précision d'Exentec offrent des tolérances de température et d'humidité très faibles, une propreté absolue en ce qui concerne la contamination gazeuse et particulaire et un blindage contre les influences acoustiques, vibratoires et électromagnétiques.
Systèmes de contrôle climatique de précision
Exentec fournit des systèmes de contrôle climatique de précision pour l'industrie des semi-conducteurs, les nanotechnologies et la production de supports de stockage optiques qui nécessitent des processus et des environnements de mesure stables et constants.
Solution de contrôle du point de rosée
Exentec propose des systèmes et des solutions utilisant des gaz de déplacement pour répondre aux exigences les plus élevées en matière de propreté, de stabilité de la température et de sécheresse.
Conditionnement de l'eau ultra-pure
Conditionnement précis des fluides dans des environnements de production innovants.