Armoires à eau de refroidissement

La qualité de l'eau de refroidissement disponible dans les fabriques de semi-conducteurs est un problème important.

Les installations de fabrication et d'outillage exigent un contrôle précis de l'eau de refroidissement

La solution d'Exyte Technology consiste à séparer les circuits de refroidissement de l'usine et de l'outil et à utiliser de l'eau ultra-pure (UPW) dans le circuit de l'outil. Cette séparation permet également un meilleur contrôle de l'alimentation en eau de refroidissement en ce qui concerne la stabilité de la température, la contamination par les particules et le débit, ce qui augmente les performances et la disponibilité de l'outil.

Pour en savoir plus sur nos sous-systèmes critiques et nos environnements contrôlés : +49 711 8804 8000

Armoires à eau de refroidissement

La solution d'Exentec consiste à séparer les circuits de refroidissement de l'usine et de l'outil, et à utiliser de l'eau ultra-pure (UPW) dans le circuit de l'outil.

Chambre de contrôle environnemental précis

Les chambres environnementales de précision d'Exentec offrent des tolérances de température et d'humidité très faibles, une propreté absolue en ce qui concerne la contamination gazeuse et particulaire et un blindage contre les influences acoustiques, vibratoires et électromagnétiques.

Systèmes de contrôle climatique de précision

Exentec fournit des systèmes de contrôle climatique de précision pour l'industrie des semi-conducteurs, les nanotechnologies et la production de supports de stockage optiques qui nécessitent des processus et des environnements de mesure stables et constants.

Solution de contrôle du point de rosée

Exentec propose des systèmes et des solutions utilisant des gaz de déplacement pour répondre aux exigences les plus élevées en matière de propreté, de stabilité de la température et de sécheresse.

Conditionnement de l'eau ultra-pure

Conditionnement précis des fluides dans des environnements de production innovants.