Armoires à eau de refroidissement
Armoires à eau de refroidissement
La qualité de l'eau de refroidissement disponible dans les fabriques de semi-conducteurs est un problème important.
Les installations de fabrication et d'outillage exigent un contrôle précis de l'eau de refroidissement
La solution d'Exyte Technology consiste à séparer les circuits de refroidissement de l'usine et de l'outil et à utiliser de l'eau ultra-pure (UPW) dans le circuit de l'outil. Cette séparation permet également un meilleur contrôle de l'alimentation en eau de refroidissement en ce qui concerne la stabilité de la température, la contamination par les particules et le débit, ce qui augmente les performances et la disponibilité de l'outil.
Armoires à eau de refroidissement
La solution d'Exentec consiste à séparer les circuits de refroidissement de l'usine et de l'outil, et à utiliser de l'eau ultra-pure (UPW) dans le circuit de l'outil.
Chambre de contrôle environnemental précis
Les chambres environnementales de précision d'Exentec offrent des tolérances de température et d'humidité très faibles, une propreté absolue en ce qui concerne la contamination gazeuse et particulaire et un blindage contre les influences acoustiques, vibratoires et électromagnétiques.
Systèmes de contrôle climatique de précision
Exentec fournit des systèmes de contrôle climatique de précision pour l'industrie des semi-conducteurs, les nanotechnologies et la production de supports de stockage optiques qui nécessitent des processus et des environnements de mesure stables et constants.
Solution de contrôle du point de rosée
Exentec propose des systèmes et des solutions utilisant des gaz de déplacement pour répondre aux exigences les plus élevées en matière de propreté, de stabilité de la température et de sécheresse.
Conditionnement de l'eau ultra-pure
Conditionnement précis des fluides dans des environnements de production innovants.