De nombreux processus industriels nécessitent de l'eau d'une qualité et d'une pureté bien définies. Cela s'applique en particulier aux processus de production pharmaceutique, mais aussi à de nombreuses autres industries. Les systèmes d'eau de haute pureté d'Exentec permettent de réaliser différents niveaux de pureté, y compris de l'"eau pour injection" de la plus haute qualité.

Les systèmes peuvent être intégrés dans l'infrastructure existante sur demande ou fonctionner comme une solution autonome. Dans tous les cas, ils sont conçus par des spécialistes expérimentés d'Exentec, conformément aux normes, spécifications et réglementations industrielles en vigueur. Outre l'intégration de systèmes de générateurs, Exentec fabrique également des systèmes complets de tuyauterie et de distribution, y compris tous les composants et la technologie des capteurs, au choix en acier inoxydable ou en plastique.

En collaboration avec le client, Exentec développe des systèmes et des solutions pour générer de l'UPW et le conditionner avec une précision de ± 0,25 mK. Ces produits sont la condition préalable à l'application réussie de la technologie d'immersion dans les processus lithographiques.

Pour générer des structures plus petites avec la même longueur d'onde, la densité optique du milieu entre l'objectif et la plaquette peut être modifiée en utilisant de l'eau. La densité optique étant extrêmement sensible aux impuretés chimiques ainsi qu'aux changements de température, l'eau ultra-pure (UPW) utilisée nécessite une stabilité de température extrêmement élevée pour obtenir des qualités d'imagerie stables.

Propriétés de l'eau

• Production d'eau ultrapure
• Contrôle des contaminants particulaires
• Contrôle extrêmement précis de la température