Installations de technologie avancée

L'innovation, les processus de production sensibles, les normes de qualité de plus en plus strictes et les progrès rapides de la recherche et du développement représentent des défis constants et croissants pour les environnements de production et de développement dans les secteurs des semi-conducteurs et de l'optique, ainsi que pour la nanotechnologie et la micromécanique.

Des tolérances de température et d'humidité très faibles, une propreté absolue en ce qui concerne la contamination gazeuse et particulaire, ainsi que le blindage des influences acoustiques, vibratoires et électromagnétiques sur les processus du client sont les facteurs clés pour des processus de production optimaux. Notre solution : le système MEC (chambre environnementale modulaire).

• Des environnements de processus stables et reproductibles
• Dépôt de particules et de contaminants chimiques
• Contrôle précis de la température
• Blindage acoustique

Données techniques

Paramètres de performance

• Débit d'air : 2,95 m³/h
• Température de l'air : 22 °C
• Stabilité de la température : ± 5 mK jusqu'à ± 1 mK
• Humidité : 33 % H.R.
• Stabilité de l'humidité : ± 0,3 % H.R.
• Blindage acoustique : pour 100 < f < 5000 Hz : -15 dB
• Blindage magnétique pour 10 < f < 200 Hz : -30 dB