冷卻水櫃

冷卻水櫃

在工具電路中使用超純水 (UPW)。

精密環境試驗室

精密環境試驗室

用於控制製程環境的精確環境室。

精密氣候控制系統

精密氣候控制系統

適當的氣候可確保品質,並降低生產中的不良率。
露點控制解決方案

露點控制解決方案

關鍵濕度生產露點控制的系統解決方案。

超純水調理

超純水調理

在創新的生產環境中對流體介質進行精確的調節。

無塵室

優越的解決方案和全面的服務

迷你環境
空氣處理單元
關鍵子系統與受控環境
瓦斯供應
化學品供應

超高純度化學品和漿料混合及分配系統

安瓿與感測器
製程排氣