氣體消減 | 產品 │ Exentec

Exentec 是全球主要半導體公司的首選供應商，為沉積、蝕刻和擴散製程工具提供使用點 (POU) 氣體消減解決方案。

我們的系統是目前最有效率且最可靠的 Epi 洗滌器。我們結合了進氣裝置技術、以 PLC 為基礎的控制箱和自動化進氣活塞，製造出低維護的 Epi 消減系統。這樣的性能使正常運行時間更長、製程更穩定、安全性更高。我們的系統結合了 2 個噴灑室和 1 個填料柱，產生業界最高的效率。

此業界首創的 Wet-Burn-Wet 濕式消減系統，將兩種濕式消減技術 (Wet + Burn/Wet) 結合為單一平台，可在燃燒器之前有效去除水溶性氣體。

Exentec 的 Cyclone 濕式消減系統是我們的旗艦型號，包含所有先進功能，可支援零系統相關製程工具停機時間。

我們最新的大容量、高效率濕式消減系統 Cyclone XL 採用粗噴式、高流量噴嘴，可覆蓋第一個洗滌室，清除大量雜質。其策略性位置可提高效率、減少用水量並消除泡沫。

我們開發、生產及維護可靠的無塵室產品，以及超潔淨受控氣氛的生產環境。

在電池市場上，Exentec 率先推出獨特的模組化迷你環境概念，將降低能源消耗與技術改良融為一體。

Exentec 的空氣處理單元以節能設計著稱。我們的研發團隊使用最先進的設備，並經常貢獻最新的知識。

適用於敏感性產品的純媒體供應系統

高純度氣體的基礎設施和供應系統

我們製造液位感測器、易燃化學品處理和 DOT 4B 安瓿瓶、圓筒和罐，廣泛應用於半導體、光電和電池產業。

我們為安全可靠的腐蝕性排煙管道系統設定了業界標準