高純度化學系統

高純度化學系統

Exentec 提供設備、現場支援服務和技術專業知識,以滿足半導體製造和其他高科技產業對高純度流體輸送、化學品混合和最先進的 CMP 漿料系統的各種應用需求。

化學品卸載

化學品卸載

提供從主儲槽到生產分配槽的化學品連續輸送,並提供系統和/或元件備援,以最大化生產正常運作時間。

化學品分銷

化學品分銷

我們的化學品配送系統可改善製程、優化樓面空間、縮短停機時間並延長產品壽命,從而降低整體擁有成本。

化學生成

化學生成

透過 Exentec 整合式NH4OH現場化學品生成技術,半導體晶圓廠可大幅降低整體化學品供應成本、提高品質、加強對供應鏈中斷的應變能力,並改善生態永續性。

CMP 泥漿混合與輸送

CMP 泥漿混合與輸送

移除昂貴的勞動密集離線計量和手動製程調整。Exentec 已成功開發出板上控制技術,可在混合和分配作業中對客戶特定的半導體 CMP 漿料解決方案進行閉環控制。

無塵室

優越的解決方案和全面的服務

迷你環境
空氣處理單元
關鍵子系統與受控環境
瓦斯供應
化學品供應

超高純度化學品和漿料混合及分配系統

安瓿與感測器
製程排氣