

分析服務總覽
- 總有機碳 (TOC) 分析儀可持續監測超純水中的有機物
- 電感耦合等離子體質譜儀 (ICP-MS) 可檢測週期表的幾乎所有元素
- 離子色譜法 (IC) 是分析水介質中的陰離子、陽離子和其他極性物質的理想方法
- 雷射顆粒量測可以分別計算水中低至 50 nm 的顆粒數量與大小

超純水測量
半導體產業對超純水中污染物的容忍限要求越來越嚴格,尤其是關鍵金屬和 TOC。我們的服務包括
- 測試製程工具或迷你環境中的水質,以進行 UPW 調節
- 測試從入口點 (POE) 到使用點 (POU) 整個系統中的水質
- 控制多個輸送點的水質
- 超高壓聚合物材料(管子、軟管、膜等)的預審 - 浸出測試


材料除氣
有機放氣的來源包括密封件、電路板、電纜絕緣、清潔劑、塗料、樹脂及其他。關鍵化合物是矽氧烷、芳香胺和高沸点芳香族碳氫化合物,如鄰苯二甲酸酯。 產品和製程控制包括:
- 用於生產控制的組件和材料測試
- 以熱解吸法進行有機化合物的篩選分析
- 評估低、中、高沸點有機化合物
- 簽發 Exentec 證書