我們提供多項關鍵參數分析及超純水系統監控服務。為確保高品質的分析，Exentec 分析區與內部超純水設備相連。

我們的超純水分析服務包括

• 檢測限在 ppt 範圍內的陰離子和陽離子
• 痕量金屬的檢測範圍低至 subppt
• TOC 測定低至 0.1 ppb
• 顆粒測量低至 0.05 μm
• 測定水的電阻率、細菌和矽含量
• 根據客戶規格進行符合性評估

微量分析

含有不同有機和無機污染物的污染沖洗水會影響製程和產品品質。透過整合所有水淨化技術，可去除微粒、有機和無機成分以及溶解的氣體，將水的純度提升至超高水準。半導體產業對超純水中污染物的容忍限要求越來越嚴格，尤其是關鍵金屬和 TOC。這就需要針對離子、金屬、微粒、有機化合物和細菌等關鍵參數，進行結構嚴謹的分析測試程式，以確保超純水的高品質。

我們的痕量分析服務包括

• 測試 UPW 調節製程工具或迷你環境中的水質
• 測試從入口點 (POE) 到使用點 (POU) 整個系統中的水質
• 控制多個輸送點的水質
• 透過靜態或動態浸出測試，預先驗證超高純 (UHP) 聚合物材料（管、軟管、膜等）用於 UPW 配水系統

浸出測試

用於 UPW 配水系統的聚合物材料和元件是可能對水質造成負面影響的潛在污染源。為此，在生產製程中使用的超高纯度 (UHP) 聚合物材料必須符合精密的 SEMI 標準規格。因此，在 UPW 系統中使用這些材料之前，對其進行預先檢驗是不可或缺的。

我們提供下列材料測試程序：

• 在 5 級無塵室中，依據 SEMI F40 對管件、管道、薄膜、閥門、O 型環進行靜態浸出測試
• 測試條件 85 ± 5 °C、7 天（也可應用其他測試條件）
• 離子、金屬和有機污染分析
• 根據 SEMI F104 在沖洗測試中確定微粒污染情況
• 評估是否符合 SEMI F57 污染規範
• 根據 SEMI 標準和客戶規格進行動態浸出測試，即持續流動以對通過零件或組件的 UPW 進行分類
• 測試從入口點 (POE) 到使用點 (POU) 整個系統的水質