空氣品質監測

電子和半導體產業複雜的製造過程需要高潔淨的環境空氣。化學氣相污染物，即所謂的空氣分子污染物 (AMC)，會在關鍵表面形成很薄的化學薄膜。嚴格監控室內空氣品質，才能符合高科技生產環境的要求。

Exentec 提供測量、識別和控制空氣污染的專業技術。這使我們的客戶能夠改善他們的製造流程以及產品良率。

在所有需要無塵生產環境的領域：半導體工業、光學與雷射技術，以及其他無塵室領域，新無塵室的空氣控制與生產過程中的例行監控都是不可或缺的任務。

我們的產品組合包括

• 室內、補給空氣單元、再循環系統、迷你環境和工具內的空氣取樣
• 仔細選擇取樣點，以便在檢測到污染程度較高時進行根本原因分析
• 選擇適當的取樣方法
• 根據目前的國際技術和客戶規格進行評估
  

因此，我們提供

• 環境、無塵室及乾淨空氣分析
• 使用離子色譜法 (IC) 和質譜法 (ICP-MS) 分析的撞擊器法收集酸和鹼的樣品
• 使用吸附材料 (例如 Tenax、CarboTrap) 取樣收集有機化合物和耐火材料樣品，以進行 TD-GC/MS 分析