CMP 泥漿混合與輸送

移除昂貴的勞動密集離線計量和手動製程調整

半導體製造廠對於許多關鍵製程參數的上下限控制 (UCL / LCL) 越來越嚴格。這些參數包括特定濃度的相關功能，以及與特定關鍵化學作用的 CMP 漿料混合和分配作業相關的許多其他參數。

為了達到這個目標，計量學有了重大的進展，在領域和原理上各有不同；但現在許多計量學只是離線測量或驗證，用來滿足這些控制限值所需的精確度和準確性。

為了消除對離線儀器的需求，Exentec 在化學機械拋光表征方面有一套行之有效的做法，可以使用各種計量裝置，或這些裝置的組合，達到同級產品中最佳的線上計量驅動控制，並達到最高的精準度。

Exentec 可以使用此儀器協同會達到即時線上結果，這些結果已被證明可以達到或超過許多離線方法所看到的水準。

優勢

我們提供設備、現場支援服務和技術專業知識，以滿足半導體製造和其他高科技產業對高純度流體輸送、化學品混合和最先進的 CMP 漿料系統的各種應用需求。

Exentec Titan™ 轉移卸載系統可將水性化學品從罐車卸載櫃中自動轉移到主分配罐中。

Exentec 提供設備、支援服務和專業技術，以滿足高純度和低純度化學品配送系統設計和製造的應用需求。

Exentec 獲得專利的按需線上化學混合和化學解決方案供應技術，可在保持精確混合精度的同時，滿足最終用戶或使用點按需動態改變流量的需求。

Exentec 的_NH4OH現場化學製程技術可協助半導體晶圓廠大幅降低整體化學品供應成本、改善彈性並提高生態永續性。

Exentec 的板載控制技術可在混合和分配作業中對客戶特定的半導體 CMP 漿料解決方案進行閉環控制。