CMP 泥漿混合與輸送

CMP 泥漿混合與輸送
移除昂貴的勞動密集離線計量和手動製程調整
半導體製造廠對於許多關鍵製程參數的上下限控制 (UCL / LCL) 越來越嚴格。這些參數包括特定濃度的相關功能,以及與特定關鍵化學作用的 CMP 漿料混合和分配作業相關的許多其他參數。
為了達到這個目標,計量學有了重大的進展,在領域和原理上各有不同;但現在許多計量學只是離線測量或驗證,用來滿足這些控制限值所需的精確度和準確性。
為了消除對離線儀器的需求,Exentec 在化學機械拋光表征方面有一套行之有效的做法,可以使用各種計量裝置,或這些裝置的組合,達到同級產品中最佳的線上計量驅動控制,並達到最高的精準度。
Exentec 可以使用此儀器協同會達到即時線上結果,這些結果已被證明可以達到或超過許多離線方法所看到的水準。
優勢
- 更高的混合精度和即時控制
- 最長的運行時間
- 全自動化系統
- 擁有成本低
- 靈活且人性化的人機介面
- 系統和/或組件備援,最大限度地延長生產正常運行時間
- 自動化系統沖洗
- 節省空間的設計
- 全混合配置和操作