Exentec 利用我們在濕式消減方面的獨特價值主張，推出了我們的第一個熱能產品線 Encompass。此工具使用我們專有的濕-燃-濕架構，將兩種技術結合在一個平台上。客戶認識到，對消減製程氣流進行預處理，可讓他們最大限度地延長製程工具的正常運行時間，同時還能保持所需的銷毀率效率 (DRE)。將技術 (Wet + Burn/Wet) 結合到單一平台，可在燃燒器之前有效去除水溶性氣體。這可在燃燒器之前去除氨氣，從而降低 NOx，並透過去除預濕消減室裡的前體，將設施管道系統中的顆粒形成降至最低。無需頻繁的維護，即可維持毀滅率效率 (DRE)。革命性的燃燒器設計和預濕洗滌室幾乎消除了燃燒器的維護和耗材。Encompass 採用主動式背閃抑制和濕壁燃燒器技術，是市場上最安全的消減工具，總擁有成本最低。
- 獨立的預洗室可防止不相容氣體的混合
- 濕壁燃燒技術利用再循環水和耐腐蝕材料「包圍」熱區
- 腔室部件可免受腐蝕，並防止沉積物形成，使燃燒器不再需要日常維護
- 多區燃燒器技術可利用現有製程氣體，而不會稀釋影響 DRE 的主火焰
- 透過火焰的數位開關週期及由此產生的熱剖面，可實現真正的「綠色模式」操作
應用效益範例：
- W-CVD - 通過燃燒 WF6 CVD 氮化物產生 WOx 沉積物
- 透過濕式洗滌 NH3 EPI 將 NOx 減少 90
- 用於火焰抑制和壓力釋放的防回閃技術
- 省去日常維護和耗材，實現最低總擁有成本
- 優異的正常運轉時間和可用性可實現最高的淨資產回報率和整體設備效率
如需瞭解我們的氣體消減解決方案，請聯絡我們：+1 408.573.0701