旋風

旋風
我們首屈一指的濕式消減機型,具備所有「零系統相關製程工具停機」功能
Cyclone 是 Exentec 首屈一指的濕式消減系統,包含所有先進的功能,讓 Exentec 可以宣稱與系統相關的製程工具停機時間為零。
優點
- 誘導錐:使排氣管線保持輕微負壓(標稱吸入 1-2 英寸的水)。
- 進氣裝置:專門的進氣裝置可將限制率降至最低,而自動進氣活塞可在不中斷製程的情況下移除限制。
- 填料柱:最後的拋光。填料不需要維護或更換
- 第二洗滌室:五個精細噴嘴和高速噴嘴確保有效去除雜質
- 第一洗滌室:粗噴霧、高流量噴嘴塗覆腔體,清除大量雜質
- 清水輸入:策略性位置可提高效率、減少用水量並消除泡沫
- 幫浦:耐腐蝕、高輸出、壽命長。再循環 25GPM
- 底盤幾何設計:獨特的幫浦輸入、排水及清水輸入位置,可防止泡沫、沉澱物,並將用水量降至最低。
- 佔地面積小:24.5 英吋 x 32.5 英吋
入口類型
- 加熱/CVD:結合內部加熱、內襯鐵氟龍且絕緣的進口設計與我們的自動柱塞,可將系統相關的停機時間縮短至零
- Poly Etch CVD 進氣口:採用專利的氣體進口裝置,可將限制降至最低,達到高效率的氣體消減。
- 高溫進氣口:適用於高溫氣流,最高可達 220ºC
- 外延式進氣口: Exentec 專門設計的氣體進入裝置,可將進氣口限制降至最低,自動化的氣體進氣活塞可將實際維護間隔延長至每 6 個月一次
進氣口配置
- 標準磊晶:外延式和旋風式只有 1 個進氣口,2 英吋 PVC 滑動配合
- 標準 1 至 4 端口非加熱旋流器。標準為 Poly 1.5 吋滑套 PVC 入口,但可改裝為 SS 強化 KF 40 法蘭轉接器。
- 標準 XL:僅 2 埠,僅不加熱,KF 80,SS
- 標準 1 至 4 埠加熱,Cyclone 1.5 吋 SS KF 40 法蘭