Cyclone 是 Exentec 首屈一指的濕式消減系統，包含所有先進的功能，讓 Exentec 可以宣稱與系統相關的製程工具停機時間為零。

優點

• 誘導錐：使排氣管線保持輕微負壓（標稱吸入 1-2 英寸的水）。
• 進氣裝置：專門的進氣裝置可將限制率降至最低，而自動進氣活塞可在不中斷製程的情況下移除限制。
• 填料柱：最後的拋光。填料不需要維護或更換
• 第二洗滌室：五個精細噴嘴和高速噴嘴確保有效去除雜質
• 第一洗滌室：粗噴霧、高流量噴嘴塗覆腔體，清除大量雜質
• 清水輸入：策略性位置可提高效率、減少用水量並消除泡沫
• 幫浦：耐腐蝕、高輸出、壽命長。再循環 25GPM
• 底盤幾何設計：獨特的幫浦輸入、排水及清水輸入位置，可防止泡沫、沉澱物，並將用水量降至最低。
• 佔地面積小：24.5 英吋 x 32.5 英吋

入口類型

• 加熱/CVD：結合內部加熱、內襯鐵氟龍且絕緣的進口設計與我們的自動柱塞，可將系統相關的停機時間縮短至零
• Poly Etch CVD 進氣口：採用專利的氣體進口裝置，可將限制降至最低，達到高效率的氣體消減。
• 高溫進氣口：適用於高溫氣流，最高可達 220ºC
• 外延式進氣口： Exentec 專門設計的氣體進入裝置，可將進氣口限制降至最低，自動化的氣體進氣活塞可將實際維護間隔延長至每 6 個月一次
  

進氣口配置

• 標準磊晶：外延式和旋風式只有 1 個進氣口，2 英吋 PVC 滑動配合
• 標準 1 至 4 端口非加熱旋流器。標準為 Poly 1.5 吋滑套 PVC 入口，但可改裝為 SS 強化 KF 40 法蘭轉接器。
• 標準 XL：僅 2 埠，僅不加熱，KF 80，SS
• 標準 1 至 4 埠加熱，Cyclone 1.5 吋 SS KF 40 法蘭