Cyclone XL 配備粗噴大流量噴嘴，可覆蓋第一消減室並去除大量雜質。策略性的位置可提高效率、減少用水量並消除泡沫。

優點

• 高流量：流量高達 5000slm 而不會降低效率 - 是大多數 POU 系統的 5 倍以上
• 進氣裝置：常溫或高溫氣體入口裝置可將限制率降至最低，自動氣體入口柱塞可移除限制而不會中斷製程
• 填料柱：最後的拋光。填料不需要維護或更換
• 第二和第三消減室：十一個精細噴霧、高速噴嘴確保有效去除雜質
• 第一消減室：粗噴霧、高流速噴嘴塗覆腔體，清除大量雜質
• 淡水輸入：策略性位置可提高效率、減少用水量並消除泡沫。三段式流量可配合製程參數
• 泵：耐腐蝕、高輸出、壽命長。可再循環 25GPM
• 底盤幾何設計：獨特的幫浦輸入、排水及清水輸入位置，可防止起泡、沉澱，並將用水量降至最低。
• 佔地面積小：47.2 英吋 x 53.35 英吋

入口類型

• 加熱/CVD：結合內部加熱、內襯鐵氟龍且絕緣的進口設計與我們的自動柱塞，可將您的系統相關故障率降至零
• Poly Etch CVD 進氣口：採用專利的氣體進口裝置，可將限制減至最少，達到高效率的氣體消減。
• 高溫進氣口：適用於高溫氣流高達 220ºC
• 外延式進氣口：Exentec 專門設計的氣體進入裝置，可將進氣口的限制降至最低，自動化的氣體進氣活塞可延長動手保養間隔至每 6 個月一次
  

進氣口配置

• 標準磊晶：外延式和旋風式只有 1 個進氣口，2 英吋 PVC 滑動配合
• 標準 1 至 4 端口非加熱旋流器。標準為 Poly 1.5 吋滑套 PVC 入口，但可改裝為 SS 強化 KF 40 法蘭轉接器。
• 標準 XL：僅 2 埠，僅不加熱，KF 80，SS
• 標準 1 至 4 埠加熱，Cyclone 1.5 吋 SS KF 40 法蘭