旋風 XL

旋風 XL
Cyclone XL 配備粗噴霧、高流量噴嘴,可覆蓋第一消減室並去除大量雜質
Cyclone XL 配備粗噴大流量噴嘴,可覆蓋第一消減室並去除大量雜質。策略性的位置可提高效率、減少用水量並消除泡沫。
優點
- 高流量:流量高達 5000slm 而不會降低效率 - 是大多數 POU 系統的 5 倍以上
- 進氣裝置:常溫或高溫氣體入口裝置可將限制率降至最低,自動氣體入口柱塞可移除限制而不會中斷製程
- 填料柱:最後的拋光。填料不需要維護或更換
- 第二和第三消減室:十一個精細噴霧、高速噴嘴確保有效去除雜質
- 第一消減室:粗噴霧、高流速噴嘴塗覆腔體,清除大量雜質
- 淡水輸入:策略性位置可提高效率、減少用水量並消除泡沫。三段式流量可配合製程參數
- 泵:耐腐蝕、高輸出、壽命長。可再循環 25GPM
- 底盤幾何設計:獨特的幫浦輸入、排水及清水輸入位置,可防止起泡、沉澱,並將用水量降至最低。
- 佔地面積小:47.2 英吋 x 53.35 英吋
入口類型
- 加熱/CVD:結合內部加熱、內襯鐵氟龍且絕緣的進口設計與我們的自動柱塞,可將您的系統相關故障率降至零
- Poly Etch CVD 進氣口:採用專利的氣體進口裝置,可將限制減至最少,達到高效率的氣體消減。
- 高溫進氣口:適用於高溫氣流高達 220ºC
- 外延式進氣口:Exentec 專門設計的氣體進入裝置,可將進氣口的限制降至最低,自動化的氣體進氣活塞可延長動手保養間隔至每 6 個月一次
進氣口配置
- 標準磊晶:外延式和旋風式只有 1 個進氣口,2 英吋 PVC 滑動配合
- 標準 1 至 4 端口非加熱旋流器。標準為 Poly 1.5 吋滑套 PVC 入口,但可改裝為 SS 強化 KF 40 法蘭轉接器。
- 標準 XL:僅 2 埠,僅不加熱,KF 80,SS
- 標準 1 至 4 埠加熱,Cyclone 1.5 吋 SS KF 40 法蘭