精密環境控制室
精密環境控制室
Exentec 精密環境試驗室提供極低的溫度和濕度公差、絕對潔淨的氣體和微粒污染，以及聲波、振動和電磁影響的屏蔽。
先進的技術設備
創新、敏感的生產製程、不斷提高的品質標準，以及快速的研發進展，對半導體、光學產業、奈米技術和微機械的生產和開發環境提出了持續且日益嚴峻的挑戰。
極低的溫度和濕度公差、絕對潔淨的氣體和微粒污染，以及屏蔽聲波、振動和電磁對客戶製程的影響，是最佳生產製程的關鍵因素。我們的解決方案：MEC 系統（模組化環境室）。
- 穩定且可重複製造的製程環境
- 顆粒和化學污染物的沉積
- 精確的溫度控制
- 聲屏蔽
技術資料
性能參數
- 空氣流量：2.95 m³/h
- 空氣溫度：22 °C
- 溫度穩定性： ± 5 mK 至 ± 1 mK
- 濕度：33 % r.H.
- 濕度穩定性： ± 0.3 % r.H.
- 聲屏蔽：100 < f < 5000 Hz：-15 dB
- 磁屏蔽：10 < f < 200 Hz：-30 dB