精密氣候控制系統

精密氣候控制系統

Exentec 提供精密氣候控制系統，適用於半導體產業、奈米科技以及需要持續穩定製程與量測環境的光儲存媒體生產。

適當的氣候可確保品質，並降低生產中的不良率。決定性的參數是高精度的溫度和濕度穩定，以及保證空氣中的顆粒和化學污染物的潔淨度。

Exentec 的解決方案是將廠房與工具的冷卻回路分開，並在工具回路中使用超純水 (UPW)。

Exentec 精密環境試驗室提供極低的溫度和濕度公差、絕對潔淨的氣體和微粒污染，以及聲波、振動和電磁影響的屏蔽。

Exentec 提供精密氣候控制系統，適用於半導體產業、奈米科技以及需要持續穩定製程與量測環境的光學儲存媒體生產。

Exentec 提供使用置換氣體的系統和解決方案，以滿足對潔淨度、溫度穩定性和乾燥度的最高要求。

在創新的生產環境中對流體介質進行精確的調節。