超純水調理

冷卻水櫃

Exentec 的解決方案是將廠房與工具的冷卻回路分開,並在工具回路中使用超純水 (UPW)。

精密環境控制室

Exentec 精密環境試驗室提供極低的溫度和濕度公差、絕對潔淨的氣體和微粒污染,以及聲波、振動和電磁影響的屏蔽。

精密氣候控制系統

Exentec 提供精密氣候控制系統,適用於半導體產業、奈米科技以及需要持續穩定製程與量測環境的光學儲存媒體生產。

露點控制解決方案

Exentec 提供使用置換氣體的系統和解決方案,以滿足對潔淨度、溫度穩定性和乾燥度的最高要求。

超純水調理

在創新的生產環境中對流體介質進行精確的調節。