許多工業製程都需要品質和純度明確的水。這尤其適用於醫藥生產過程，但也適用於許多其他工業。使用 Exentec 的高純水系統，可以實現不同的純度等級 - 甚至是最高品質的 「注射用水」。

該系統可根據要求整合到現有的基礎設施中，也可作為獨立的解決方案運行。在任何情況下，它們都是由經驗豐富的 Exentec 專家根據適用的工業標準、規格和法規而設計的。除了整合發電系統外，Exentec 也製造完整的管路和配電系統，包括所有元件和感測器技術，可選擇不銹鋼或塑膠材質。

Exentec 與客戶共同開發出可產生 UPW 的系統和解決方案，並將其調節至 ± 0,25 mK 的精確度。這些產品是光刻製程中浸入技術成功應用的先決條件。

為了在相同波長下產生更小的結構，物鏡與晶圓間介質的光學密度可以用水來改變。由於光密度對化學雜質以及溫度變化極為敏感，因此所使用的超純水 (UPW) 需要極高的溫度穩定性，才能達到穩定的成像品質。

特性

• 產生超純水
• 控制微粒雜質
• 極精密的溫度控制