製造廠和工具廠需要精確的冷卻水控制

Exyte Technology 的解決方案是將廠房和工具的冷卻回路分開，並在工具回路中使用超純水 (UPW)。這種分離方式也能更好地控制冷卻水供應的溫度穩定性、微粒污染和流速，從而提高工具的性能和可用性。