冷却水柜

冷却水柜

在工具回路中使用超纯水(UPW)。

精密环境室

精密环境室

用于控制加工环境的精密环境舱。

精密气候控制系统

精密气候控制系统

适宜的气候可确保质量,降低生产中的废品率。
露点控制解决方案

露点控制解决方案

用于关键湿度生产的露点控制的系统解决方案。

超纯水调节

超纯水调节

在创新的生产环境中精确调节流体介质。

洁净室

卓越的解决方案和全面的服务

迷你环境
空气处理机组
关键子系统和受控环境
燃气供应
化学品供应

超高纯度化学品和浆料混合与分配系统

安瓿瓶和传感器
工艺废气