精密气候控制系统

精密气候控制系统

Exentec 为半导体工业、纳米技术和需要持续稳定的工艺和测量环境的光存储介质生产提供精密气候控制系统。

适宜的气候可确保质量并降低生产中的废品率。决定性的参数是高精度的温度和湿度稳定，以及确保空气中颗粒和化学污染的洁净度。

Exentec 的解决方案是将工厂和工具的冷却回路分开，并在工具回路中使用超纯水 (UPW)。

Exentec 精密环境模拟室具有极低的温度和湿度公差、气体和微粒污染方面的绝对洁净度以及声学、振动和电磁影响屏蔽。

Exentec 为半导体工业、纳米技术和需要持续稳定的工艺和测量环境的光存储介质生产提供精密气候控制系统。

Exentec 提供的置换气体系统和解决方案可满足对洁净度、温度稳定性和干燥度的最高要求。

在创新的生产环境中精确调节流体介质。