气体减排 | 产品 │ Exentec

Exentec 是全球主要半导体公司的首选供应商，为沉积、蚀刻和扩散工艺工具提供使用点 (POU) 气体减排解决方案。

我们的系统是目前最高效、最可靠的 Epi 洗涤器。我们将入口装置技术与基于 PLC 的控制箱和自动气体入口柱塞相结合，生产出低维护的 Epi 消减系统。这种性能可提高正常运行时间、工艺稳定性和安全性。我们的系统结合了 2 个喷淋室和 1 个填料柱，是业内效率最高的系统之一。

这种业内首创的湿-燃-湿减排系统将两种湿减排技术（湿+燃/湿）结合到一个平台中，可在燃烧器之前高效去除水溶性气体。

Exentec 的旋风式湿法除尘系统是我们的旗舰型号，它包含了所有先进功能，支持与系统相关的加工工具零停机。

我们最新的大容量、高效率湿式除尘系统 Cyclone XL 采用了粗喷雾、大流量喷嘴，可覆盖第一洗涤室并去除大量杂质。其战略位置可提高效率、最大限度地减少用水量并消除泡沫。

我们开发、生产和维护可靠的洁净室产品和超洁净受控气氛的生产环境。

在电池市场，Exentec 首创了独特的模块化迷你环境概念，将降低能耗和技术改进融为一体。

Exentec 的空气处理机组以节能设计著称。我们的研发团队使用最先进的设备，并始终提供最新的知识。

用于敏感产品的纯介质供应系统

高纯度气体的基础设施和供应系统

我们生产液位传感器、发火化学品处理和 DOT 4B 安瓿瓶、圆筒和罐，广泛应用于半导体、光伏和电池行业。

我们为安全可靠的腐蚀性排烟管道系统设定了行业标准