旋风

旋风
我们首屈一指的湿式减排模式,具备所有 "零系统相关工艺工具停机时间 "功能
Cyclone 是 Exentec 最重要的湿式除尘系统,具有所有先进功能,使 Exentec 能够做到与系统相关的加工工具零停机。
优点
- 导流锥:使排气管路保持轻微负压(额定吸水 1-2 英寸)
- 气体入口装置:专门的气体入口装置可最大限度地降低限制率,自动气体入口柱塞可在不中断工艺的情况下消除限制
- 填料柱:最终抛光。填料无需维护或更换
- 第二洗涤室:五个精细喷嘴和高速喷嘴确保有效去除杂质
- 第一洗涤室:粗喷雾、大流量喷嘴覆盖腔体并去除大量杂质
- 淡水输入:战略位置可提高效率、减少用水量并消除泡沫
- 泵:耐腐蚀、高输出、长寿命。再循环流量为 25GPM
- 底盘几何形状:独特的泵输入、排水和淡水输入位置可防止起泡、沉淀并最大限度地减少用水量
- 占地面积小:24.5 英寸 x 32.5 英寸
入口类型
- 加热/CVD:将内部加热、聚四氟乙烯内衬和绝缘入口设计与我们的自动柱塞相结合,可将与系统相关的停机时间减少到零
- 聚蚀刻 CVD 入口:采用获得专利的气体入口装置,可最大限度地减少限制,从而实现高效气体减排
- 高温入口:适用于高达 220ºC 的高温气流
- 外延式进气口:Exentec 专门设计的气体进入装置可最大限度地减少进气口限制,自动气体入口柱塞可将动手维护间隔延长至每 6 个月一次
入口配置
- 标准外延式:外延式和旋风式只有 1 个端口,2 英寸 PVC 滑配
- 标准 1-4 端口非加热旋风分离器。标准配置为 1.5 英寸聚氯乙烯滑套式入口,但也可进行改装,安装 SS 增强型 KF 40 法兰适配器。
- 标准 XL:仅 2 个端口,仅不加热,KF 80,SS
- 标准 1 至 4 口加热,旋风式 1.5 英寸 SS KF 40 法兰