高纯度化学系统

高纯度化学系统

Exentec 提供设备、现场支持服务和专业技术知识,以满足半导体制造和其他高科技行业对高纯度流体输送、化学混合和最先进的 CMP 浆料系统的各种应用需求。

化学品卸载

化学品卸载

通过系统和/或组件冗余,将化学品从主储罐持续输送到生产分配罐,最大限度地延长生产正常运行时间。

化学品配送

化学品配送

我们的化学品配送系统可改进流程、优化占地面积、减少停机时间并延长产品寿命,从而降低总体拥有成本。

化学世代

化学世代

采用 Exentec 集成的NH4OH现场化学品生成技术,半导体工厂可以显著降低化学品供应的总体成本,提高质量,增强抵御供应链中断的能力,并改善生态可持续性。

CMP 泥浆混合与输送

CMP 泥浆混合与输送

消除昂贵的劳动密集型离线计量和手动工艺调整。Exentec 已成功开发出板载控制技术,可在混合和分配操作中对客户特定的半导体 CMP 浆料解决方案进行闭环控制。

洁净室

卓越的解决方案和全面的服务

迷你环境
空气处理机组
关键子系统和受控环境
燃气供应
化学品供应

超高纯度化学品和浆料混合与分配系统

安瓿瓶和传感器
工艺废气