Exentec 专注于半导体行业的超高纯度化学品和气体系统。我们的产品组合包括混合和输送设备，可广泛应用于水性化学品和 CMP 浆料。

此外，我们还提供所需的现场支持服务、控制、集成和专业技术知识，以满足严格的半导体工艺控制需求。

我们可靠的系统可提供

  • 先进的计量驱动闭环过程控制
  • 自动化的化学品和浆料质量控制
  • 灵活、可扩展、精确的输送和混合系统
  • 通过混合浓度和压力控制加强过程控制
  • 与 SCADA 无缝集成，提供全面的 I&C 支持
  • 优化占地面积
  • 最长正常运行时间
高纯度化学系统

高纯度化学系统

Exentec 提供设备、现场支持服务和专业技术知识，以满足半导体制造和其他高科技行业对高纯度流体输送、化学混合和最先进的 CMP 浆料系统的各种应用需求。

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化学品卸载

化学品卸载

通过系统和/或组件冗余，将化学品从主储罐持续输送到生产分配罐，最大限度地延长生产正常运行时间。

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化学品配送

化学品配送

我们的化学品配送系统可改善流程、优化占地面积、减少停机时间并延长产品寿命，从而降低总体拥有成本。

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在线混合

在线混合

Exentec 获得专利的按需在线化学品混合和化学品溶液供应技术可根据最终用户或使用点的需求动态改变流量，同时保持精确的混合精度。

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化学世代

化学世代

采用 Exentec 集成的NH4OH现场化学品生成技术，半导体工厂可以显著降低化学品供应的总体成本，提高质量，增强抵御供应链中断的能力，并改善生态可持续性。

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CMP 泥浆混合与输送

CMP 泥浆混合与输送

消除昂贵的劳动密集型离线计量和手动工艺调整。Exentec 已成功开发出板载控制技术，可在混合和分配操作中对客户特定的半导体 CMP 浆料解决方案进行闭环控制。

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洁净室

卓越的解决方案和全面的服务

我们开发、生产和维护可靠的洁净室产品和超洁净受控气氛的生产环境。

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迷你环境

在电池市场，Exentec 首创了独特的模块化迷你环境概念，将降低能耗和技术改进融为一体。

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空气处理机组

Exentec 的空气处理机组以节能设计著称。我们的研发团队使用最先进的设备，并始终提供最新的知识。

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关键子系统和受控环境

用于敏感产品的纯介质供应系统

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燃气供应

高纯度气体的基础设施和供应系统

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化学品供应

超高纯度化学品和浆料混合与分配系统

超高纯度化学品和浆料混合与分配系统

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安瓿瓶和传感器

我们生产液位传感器、发火化学品处理和 DOT 4B 安瓿瓶、圆筒和罐，广泛应用于半导体、光伏和电池行业。

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工艺废气

我们为安全可靠的腐蚀性排烟管道系统设定了行业标准

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