CMP 泥浆混合与输送

消除昂贵的劳动密集型离线计量和人工流程调整

半导体工厂对一些关键工艺参数的上下限控制（UCL / LCL）越来越严格。这些参数包括特定浓度的相关功能，以及与特定关键化学作用的 CMP 泥浆混合和分配操作相关的许多其他功能。

为实现这一目标，计量学取得了重大进展，其领域和原理各不相同；但目前许多计量学仅为离线测量或验证，用于满足这些控制限值所要求的精度和准确度。

为了消除对离线仪器的需求，Exentec 在化学机械抛光表征方面有一套行之有效的做法，可以使用各种计量设备或这些设备的组合，实现同类最佳的在线计量驱动控制，并达到最高的精度水平。

Exentec 可以使用这种仪器组合来实现实时在线结果，这些结果已被证明达到或超过了许多离线方法的水平。

优势

我们提供设备、现场支持服务和专业技术知识，以满足半导体制造和其他高科技行业对高纯度流体输送、化学混合和最先进的 CMP 浆料系统的各种应用需求。

Exentec Titan™ 转移和卸载系统可自动将水性化学品从罐车卸载柜转移到主分配罐。

Exentec 提供设备、支持服务和专业技术知识，以满足设计和制造高纯度和低纯度化学品配送系统的应用需求。

Exentec 已获专利的按需在线化学品混合和化学品解决方案供应技术可满足最终用户或使用点按需动态改变流量的要求，同时保持精确的混合精度。

Exentec 的_NH4OH现场化学品生成技术可帮助半导体工厂大幅降低整体化学品供应成本，提高复原能力和生态可持续性。

Exentec 的板载控制技术可在混合和分配操作中对客户特定的半导体 CMP 浆料解决方案进行闭环控制。