Exentec 利用我们在湿法减排领域的独特价值主张，推出了我们的首个热产品系列 Encompass。该工具采用我们专有的 "湿-燃-湿 "架构，将两种技术结合在一个平台上。客户认识到，对减排工艺气流进行预处理，可以最大限度地延长工艺工具的正常运行时间，同时还能保持理想的销毁率效率（DRE）。将各种技术（湿式+燃烧/湿式）结合到一个平台中，可在燃烧器之前有效去除水溶性气体。这可以通过在燃烧器之前去除氨来降低氮氧化物，并通过在预湿消减室中去除前体物，最大限度地减少设施管道系统中的颗粒形成。无需频繁维护即可保持销毁率效率（DRE）。革命性的燃烧器设计和预湿洗涤室几乎消除了燃烧器维护和消耗品。凭借主动式背闪抑制和湿壁燃烧器技术，Encompass 是市场上最安全、总拥有成本最低的消减工具。
- 独立的预擦洗室可防止不相容气体的混合
- 湿壁燃烧技术利用循环水和耐腐蚀材料 "包围 "热区
- 保护燃烧室部件免受腐蚀，防止沉积物形成，减少燃烧器的日常维护工作
- 多区燃烧器技术可利用现有工艺气体，而不会稀释影响焚毁去除率的主火焰
- 通过火焰的数字开关循环和由此产生的热曲线，可实现真正的 "绿色模式 "运行
应用效益实例：
- W-CVD - 通过燃烧 WF6 CVD 氮化物产生 WOx 沉积物
- 通过湿法洗涤 NH3 EPI 将氮氧化物减少 90
- 用于火焰抑制和压力释放的防回火技术
- 省去日常维护和耗材，总拥有成本最低
- 出色的正常运行时间和可用性可实现最高的净资产回报率和整体设备效率
如需了解我们的气体减排解决方案，请联系我们：+1 408.573.0701