工厂和工具安装需要精确的冷却水控制

Exyte Technology 的解决方案是将工厂和工具的冷却回路分开，并在工具回路中使用超纯水 (UPW)。这种分离还能更好地控制冷却水供应的温度稳定性、颗粒污染和流速，从而提高工具的性能和可用性。