许多工业流程都需要水质和纯度明确的水。这尤其适用于制药生产过程，同时也适用于许多其他行业。使用 Exentec 的高纯水系统可以实现不同的纯度水平，甚至是最高质量的 "注射用水"。

这些系统可以根据要求集成到现有的基础设施中，也可以作为独立的解决方案运行。在任何情况下，它们都是由经验丰富的 Exentec 专家根据适用的行业标准、规范和法规设计的。除发电机系统集成外，Exentec 还制造完整的管道和配电系统，包括所有组件和传感器技术，可选择不锈钢或塑料材质。

Exentec 与客户共同开发生成 UPW 的系统和解决方案，并以 ± 0,25 mK 的精度对其进行调节。这些产品是在光刻工艺中成功应用浸没技术的先决条件。

为了生成具有相同波长的较小结构，可以用水改变物镜和晶片之间介质的光密度。由于光密度对化学杂质和温度变化极为敏感，因此所使用的超纯水 (UPW) 需要极高的温度稳定性，以获得稳定的成像质量。

特性

• 生成超纯水
• 控制微粒杂质
• 极其精确的温度控制