Cabine di raffreddamento ad acqua

Cabine di raffreddamento ad acqua

Utilizzo di acqua ultrapura (UPW) nel circuito dell'utensile.

Camera ambientale precisa

Camera ambientale precisa

Camera ambientale precisa per ambienti di processo controllati.

Sistema di regolazione climatica di precisione

Sistema di regolazione climatica di precisione

Il clima giusto garantisce la qualità e riduce il tasso di scarto nella produzione.
Soluzione per il controllo del punto di rugiada

Soluzione per il controllo del punto di rugiada

Soluzione di sistema per il controllo del punto di rugiada nella produzione di umidità critica.

Condizionamento dell'acqua ultrapura

Condizionamento dell'acqua ultrapura

Condizionamento preciso dei fluidi in ambienti di produzione innovativi.

Camera bianca

Soluzioni superiori e servizi completi

Mini ambienti
Unità di trattamento dell'aria
Sottosistemi critici e ambienti controllati
Fornitura di gas
Fornitura di prodotti chimici

Sistemi di miscelazione e distribuzione di prodotti chimici e liquami ad altissima purezza

Fiale e sensori
Scarico del processo