Forniamo soluzioni personalizzate per i processi di produzione critici nei settori con esigenze estreme di lavorazione e strutturazione delle superfici in termini di temperatura, umidità, pulizia, controllo elettromagnetico e acustico. La nostra unica e ampia gamma di soluzioni di prodotto garantisce la disponibilità di un ambiente tecnico climatizzato adeguato. Oltre ai nostri prodotti all'avanguardia, i nostri punti di forza sono la consulenza, l'ingegneria, la produzione, la messa in funzione e l'assistenza ai clienti.
Cabine di raffreddamento ad acqua
Utilizzo di acqua ultrapura (UPW) nel circuito dell'utensile.
Camera ambientale precisa
Camera ambientale precisa per ambienti di processo controllati.
Sistema di regolazione climatica di precisione
Soluzione per il controllo del punto di rugiada
Soluzione di sistema per il controllo del punto di rugiada nella produzione di umidità critica.
Condizionamento dell'acqua ultrapura
Condizionamento preciso dei fluidi in ambienti di produzione innovativi.
Camera bianca
Soluzioni superiori e servizi completi
Sviluppiamo, produciamo e manteniamo prodotti affidabili per camere bianche e ambienti di produzione per atmosfere controllate ultra-pulite.
Mini ambienti
Nel mercato delle batterie, Exentec è pioniere di un concetto unico di Mini Environment modulare, che integra riduzione dell'energia e miglioramenti tecnologici.
Unità di trattamento dell'aria
Le unità di trattamento aria di Exentec si distinguono per il design ad alta efficienza energetica. Il nostro team di ricerca e sviluppo lavora con apparecchiature all'avanguardia e apporta sempre le conoscenze più recenti.
Sottosistemi critici e ambienti controllati
Sistemi di alimentazione di mezzi puri per prodotti sensibili
Fornitura di prodotti chimici
Sistemi di miscelazione e distribuzione di prodotti chimici e liquami ad altissima purezza
Sistemi di miscelazione e distribuzione di prodotti chimici e liquami ad altissima purezza
Ampolle e sensori
Produciamo sensori di livello per liquidi, manipolazione di sostanze chimiche piroforiche e ampolle, cilindri e taniche DOT 4B ampiamente utilizzati nell'industria dei semiconduttori, del fotovoltaico e delle batterie.
Scarico del processo
Stabiliamo lo standard industriale per i sistemi di condotti di scarico per fumi corrosivi sicuri e affidabili
Abbattimento del gas
Siamo un fornitore di riferimento per le principali aziende di semiconduttori in tutto il mondo e forniamo soluzioni di abbattimento dei gas POU (Point-of-Use) per strumenti di processo di deposizione, incisione e diffusione.
Soluzioni biofarmaceutiche
Supportiamo tutte le fasi critiche della produzione biofarmaceutica
Panche umide
Siamo specializzati nella progettazione di sistemi di preparazione delle superfici in cui i requisiti applicativi e le prestazioni delle apparecchiature si allineano perfettamente.
I nostri strumenti integrano hardware di processo, software di controllo avanzato e robotica automatizzata per fornire soluzioni personalizzate, dai banchi manuali a processo singolo ai sistemi di manipolazione dei wafer completamente automatizzati. Possiamo personalizzare i supporti per substrati e gli effettori finali per soddisfare requisiti di lavorazione unici.
Supportiamo un'ampia gamma di substrati e materiali:
- wafer (100 mm - 300 mm)
- Materiali semiconduttori III-V
- Fotomaschere
- Attrezzature in vetro e quarzo
- Manifold personalizzati e supporti speciali
I nostri ingegneri possono anche progettare dispositivi finali e supporti per substrati personalizzati per soddisfare le vostre specifiche esigenze di processo e movimentazione.
- Pulizia, strisce di resistenze, incisione, sviluppo, distacco del metallo, recupero e asciugatura IPA
- Utilizzabili per applicazioni con acidi, basi e solventi
- Dimensioni del bagno per una o più cassette
- Apparecchiature di processo configurabili e scalabili.
Il nostro team ha esperienza in un'ampia gamma di applicazioni, tra cui FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Deposizione magnetica, Electro-Etch e Deposizione senza E. Disponiamo anche di layout di bagni standard per processi a umido per molte applicazioni, come ad esempio:
- Incisione a umido - incisione di silicio (KOH), incisione di nitruro, incisione di ossido tamponato, striscia di fotoresistenza e incisione di oro/platino.
- Sollevamento dei metalli - Configurazioni NMP e DMSO.
- Pulizia dei wafer - Supporto per i bagni HF, Piranha, SC1, SC2.
I nostri strumenti di processo possono essere configurati con una gamma completa di sistemi di supporto per migliorare l'automazione, la sicurezza e la gestione delle sostanze chimiche:
- Sistemi di manipolazione dei prodotti chimici
- Carrelli per l'erogazione, la rimozione e lo stoccaggio dei prodotti chimici
- Damigiane a bordo per la raccolta dei rifiuti
- Stazioni di sollevamento per la neutralizzazione dei rifiuti
- Hardware per l'ottimizzazione dei processi
- Circolatori a temperatura controllata (WHRV)
- Riscaldamento: fino a 5115 BTU/ora
- Raffreddamento: fino a 2550 BTU/h
- Bagni a ricircolo per una temperatura e un flusso costanti
- Serbatoi in quarzo per la resistenza chimica
- Sciacquatrici a scarico rapido (QDR)
- Modalità a immersione, a cascata e a spruzzo
I nostri sistemi di preparazione delle superfici sono scalabili e pronti per essere integrati in camere bianche, laboratori di ricerca e sviluppo e fabbriche ad alto volume. Che si tratti di substrati standard o di materiali unici, il nostro team è in grado di fornire una piattaforma pronta per il processo e adatta alle vostre esigenze.
Sistemi a fanghiglia
I nostri strumenti integrano hardware di processo, software di controllo avanzato e robotica automatizzata per fornire soluzioni personalizzate, dai banchi manuali a processo singolo ai sistemi di manipolazione dei wafer completamente automatizzati. Possiamo personalizzare i supporti per substrati e gli effettori finali per soddisfare requisiti di lavorazione unici.
Supportiamo un'ampia gamma di substrati e materiali:
- wafer (100 mm - 300 mm)
- Materiali semiconduttori III-V
- Fotomaschere
- Attrezzature in vetro e quarzo
- Collettori personalizzati e supporti speciali
I nostri ingegneri possono anche progettare dispositivi finali e supporti per substrati personalizzati per soddisfare le vostre specifiche esigenze di processo e movimentazione.
- Pulizia, strisce di resistenze, incisione, sviluppo, distacco di metalli, recupero e asciugatura IPA
- Utilizzabili per applicazioni con acidi, basi e solventi
- Dimensioni del bagno per una o più cassette
- Apparecchiature di processo configurabili e scalabili.
Il nostro team ha esperienza in un'ampia gamma di applicazioni, tra cui FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Deposizione magnetica, Electro-Etch e Deposizione senza E. Disponiamo anche di layout di bagni standard per processi a umido per molte applicazioni, come ad esempio:
- Incisione a umido - incisione di silicio (KOH), incisione di nitruro, incisione di ossido tamponato, striscia di fotoresistenza e incisione di oro/platino.
- Sollevamento dei metalli - Configurazioni NMP e DMSO.
- Pulizia dei wafer - Supporto per bagni HF, Piranha, SC1, SC2
I nostri strumenti di processo possono essere configurati con una gamma completa di sistemi di supporto per migliorare l'automazione, la sicurezza e la gestione delle sostanze chimiche:
- Sistemi di manipolazione dei prodotti chimici
- Carrelli per l'erogazione, la rimozione e lo stoccaggio dei prodotti chimici
- Damigiane a bordo per la raccolta dei rifiuti
- Stazioni di sollevamento per la neutralizzazione dei rifiuti
- Hardware per l'ottimizzazione dei processi
- Circolatori a temperatura controllata (WHRV)
- Riscaldamento: fino a 5115 BTU/ora
- Raffreddamento: fino a 2550 BTU/h
- Bagni a ricircolo per una temperatura e un flusso costanti
- Serbatoi in quarzo per la resistenza chimica
- Sciacquatrici a scarico rapido (QDR)
- Modalità a immersione, a cascata e a spruzzo
I nostri sistemi di preparazione delle superfici sono scalabili e pronti per essere integrati in camere bianche, laboratori di ricerca e sviluppo e fabbriche ad alto volume. Che si tratti di substrati standard o di materiali unici, il nostro team è in grado di fornire una piattaforma pronta per il processo e adatta alle vostre esigenze.