Sistemi per gas sfusi ad alta purezza

Sistemi per gas sfusi ad alta purezza

I sistemi per gas sfusi ad alta purezza di Exentec offrono soluzioni chiavi in mano o specializzate per una fornitura di gas sicura ed efficiente in settori come la produzione di semiconduttori. Dai controlli delle tubazioni agli skid di purificazione, i sistemi sono completamente personalizzabili per diversi tipi di gas, massimizzando la sicurezza, la produttività e il valore del ciclo di vita.

Sistemi per gas specifici ad alta purezza

Sistemi per gas specifici ad alta purezza

I sistemi Exentec per gas specifici ad alta purezza sono dotati di controllo PLC/HMI completamente integrato con accesso remoto e regolazione automatica della pressione per un flusso di gas preciso e ininterrotto. Progettati per armadi compatti, riducono del 30% l'intervento manuale, minimizzano le fluttuazioni di pressione e migliorano la sicurezza grazie alla completa automazione.

Armadi a gas

Armadi a gas

Gli armadi per gas di Exentec offrono configurazioni flessibili e tempi di attività del 99,999%, con soluzioni standard e personalizzate su misura per applicazioni specifiche. Le opzioni comprendono il controllo da manuale a completamente automatico, la configurazione da 1 a 3 bombole e i pannelli di spurgo/processo integrati, tutti progettati per garantire sicurezza, affidabilità e facilità d'uso.

Sistemi di miscelazione a gas

Sistemi di miscelazione a gas

I sistemi di miscelazione dei gas di Exentec forniscono una miscelazione precisa e automatizzata dei gas fino a 250 slpm, con monitoraggio in tempo reale e accuratezza di ±0,3%. Dotato di controllo PLC, analizzatore incorporato e funzioni di sicurezza in un involucro compatto conforme a SEMI-F14, garantisce prestazioni affidabili per le applicazioni più esigenti.

Scatole per collettori di valvole

Scatole per collettori di valvole

La Valve Manifold Box (VMB) di Exentec consente una distribuzione sicura e affidabile del gas fino a 8 stick, con controllo da manuale a completamente automatico e spurgo e vuoto N₂ opzionali per la manutenzione. Disponibili in versione a pannello o in armadio di scarico, i VMB offrono funzioni di sicurezza avanzate, doppio isolamento e accessori personalizzabili per applicazioni con gas inerti o pericolosi.

Pannelli del collettore della valvola

Pannelli del collettore della valvola

Il team di Exentec che si occupa della fornitura di materiali di elevata purezza fornisce pannelli per gas innovativi e affidabili, supportati da una vasta esperienza di produzione e installazione. Le opzioni dei pannelli includono configurazioni automatiche, manuali, modulari e di spurgo, come i pannelli Auto-Crossover che assicurano un flusso di gas ininterrotto commutando automaticamente le bombole quando una è esaurita.

Pannelli del collettore della valvola

Pannelli del collettore della valvola

Il team di Exentec che si occupa della fornitura di materiali di elevata purezza fornisce pannelli per gas innovativi e affidabili, supportati da una vasta esperienza di produzione e installazione. Le opzioni dei pannelli includono configurazioni automatiche, manuali, modulari e di spurgo, come i pannelli Auto-Crossover che assicurano un flusso di gas ininterrotto commutando automaticamente le bombole quando una è esaurita.

Sistemi di erogazione dei precursori Liquide

Sistemi di erogazione dei precursori Liquide

Il sistema di distribuzione Liquide (precursore) di Exentec è un sistema di distribuzione di prodotti chimici progettato per massimizzare l'efficienza e le prestazioni. Il sistema stand-alone comprende pannelli ridondanti con capacità di autocrossover per un maggiore tempo di attività > 99,9%. L'ingombro ridotto con grande capacità di processo è progettato per distribuire prodotti chimici liquidi tramite un gas di spinta.

Controllori del sistema di erogazione del gas

Controllori del sistema di erogazione del gas

Exentec offre una gamma versatile di controllori per sistemi di erogazione del gas, personalizzabili in base a specifici tipi di gas, routine di spurgo e piattaforme di controllo. Le opzioni comprendono controllori VMB da manuali a completamente automatizzati (a 4 o 8 stick) con PLC Allen-Bradley o Siemens, nonché modelli personalizzati e a sostituzione diretta, come AVMB4S e AVMB8S, per l'aggiornamento di sistemi preesistenti.

Sistema di erogazione del vapore

Sistema di erogazione del vapore

Il Vapor Delivery System di Exentec è una soluzione compatta e ad alta purezza per la distribuzione precisa del vapore chimico nelle applicazioni di produzione avanzate. Dotato di un gorgogliatore in acciaio inossidabile, di un refrigeratore opzionale e di un controllo intelligente in un involucro resistente, garantisce un flusso di vapore costante, un'integrazione flessibile e una maggiore sicurezza per processi come ALD, CVD ed epitassia.

Contenitore di alimentazione del gas personalizzato

Contenitore di alimentazione del gas personalizzato

I contenitori per la fornitura di gas "Plug & Process" di Exentec sono sistemi modulari e prefabbricati progettati per una rapida ed economica implementazione di infrastrutture per gas ad altissima purezza. Completamente personalizzabili e automatizzati, sono dotati di sistemi integrati di sicurezza, ventilazione e controllo e offrono soluzioni scalabili ed efficienti dal punto di vista dello spazio con un'assistenza esperta a lungo termine.

Installazioni e connessioni alle macchine

Installazioni e connessioni alle macchine

Il nostro reparto CAD interno sviluppa e progetta i componenti e li produce nei nostri stabilimenti specializzati. I nostri esperti lavorano tubi in acciaio inox in un'ampia gamma di qualità utilizzando processi di saldatura orbitale o manuale. Utilizziamo tecniche di giunzione quali:

  • Tecnologia VCR
  • Raccordi per tubi
  • Tecnologia delle flange
  • Sistemi di montaggio a pressa
  • Lavorazione delle materie plastiche (saldatura, incollaggio)
Camera bianca

Soluzioni superiori e servizi completi

Mini ambienti
Unità di trattamento dell'aria
Sottosistemi critici e ambienti controllati
Fornitura di gas
Fornitura di prodotti chimici

Sistemi di miscelazione e distribuzione di prodotti chimici e liquami ad altissima purezza

Fiale e sensori
Scarico del processo