
Competenza nella miscelazione e nel controllo del flusso
Il cuore della nostra tecnologia è la capacità di miscelare il slurry in modo preciso e ripetibile, mantenendo caratteristiche di flusso costanti verso ogni punto di utilizzo. Questo contribuisce a garantire prestazioni stabili dei materiali, una riduzione degli sprechi e una maggiore disponibilità degli strumenti CMP.
Supportate da un ampio portafoglio di brevetti e da molti anni di esperienza ingegneristica, le soluzioni Exentec affrontano le complessità dei moderni processi CMP. Grazie alla conoscenza dei processi, all’automazione avanzata e agli investimenti continui in R&S, sviluppiamo sistemi scalabili in grado di rispondere alle esigenze di oggi e di domani.
Vantaggi dei sistemi di slurry Exentec
- Sistemi scalabili con 1–8+ canali di erogazione e tassi di make‑up variabili
- Controllo della pressione stabile con variazioni minime durante miscelazione e distribuzione
- Manutenzione eseguibile senza interrompere la produzione
- Interfaccia intuitiva con monitoraggio in tempo reale
- Lavaggio e spurgo dei serbatoi senza interrompere il flusso di processo

MEGA® — Sistemi di slurry Exentec
Sistemi di miscelazione MEGA®
Sistemi di comunicazione e controllo MEGA®
Sistemi di distribuzione MEGA®
Sistemi di filtrazione MEGA®
Sistemi di metrologia MEGA®
Sistemi multifunzione MEGA®
Sistemi di trasferimento MEGA®


