Sistemi di slurry

Competenza nella miscelazione e nel controllo del flusso

Il cuore della nostra tecnologia è la capacità di miscelare il slurry in modo preciso e ripetibile, mantenendo caratteristiche di flusso costanti verso ogni punto di utilizzo. Questo contribuisce a garantire prestazioni stabili dei materiali, una riduzione degli sprechi e una maggiore disponibilità degli strumenti CMP.
 

Supportate da un ampio portafoglio di brevetti e da molti anni di esperienza ingegneristica, le soluzioni Exentec affrontano le complessità dei moderni processi CMP. Grazie alla conoscenza dei processi, all’automazione avanzata e agli investimenti continui in R&S, sviluppiamo sistemi scalabili in grado di rispondere alle esigenze di oggi e di domani.

Vantaggi dei sistemi di slurry Exentec

• Sistemi scalabili con 1–8+ canali di erogazione e tassi di make‑up variabili
• Controllo della pressione stabile con variazioni minime durante miscelazione e distribuzione
• Manutenzione eseguibile senza interrompere la produzione
• Interfaccia intuitiva con monitoraggio in tempo reale
• Lavaggio e spurgo dei serbatoi senza interrompere il flusso di processo