La gamma di strumenti per la preparazione delle superfici e di banchi a umido Exentec spazia dall'immersione in lotti ai banchi a umido per applicazioni a spruzzo o a singolo wafer. Tutti i banchi a umido possono essere configurati da sistemi manuali a sistemi multitasking completamente automatizzati.
I nostri banchi a umido sono progettati per la ripetibilità e il volume, con particolare attenzione ai processi con due o più vasche di lavorazione. Costruite secondo gli attuali standard SEMI, le nostre stazioni di processo a umido sono disponibili in configurazioni completamente automatizzate, semi-automatizzate e manuali.
- FEOL, BEOL, moduli di imballaggio, moduli di imballaggio avanzato, placcatura di modelli MEMS, deposizione magnetica, elettroincisione e deposizione senza E.
- Pulizia, strisce di resistenze, incisione, sviluppo, distacco del metallo, recupero e asciugatura IPA
- Utilizzabile per applicazioni con acidi, basi e solventi
- Dimensioni del bagno a cassetta singola o multipla
- Wafer di silicio da 100 mm a 450 mm, materiali III-V, fotomaschere, vetro e grandi collettori
- Substrati personalizzati
Wet Bench prodotti da Exentec
I prodotti Wet Bench di Exentec sono progettati per preparare le superfici dei wafer di silicio, supportare le fasi di produzione in camera bianca, eseguire processi di incisione e riportare i componenti di fabbricazione di grandi dimensioni in condizioni di assenza di contaminanti:
Banco umido automatizzato Aeris
Banco umido automatizzato Aeris
Il banco umido automatizzato Aeris® è stato progettato specificamente per le rigorose esigenze della ricerca e dello sviluppo dei semiconduttori, combinando la lavorazione ad alte prestazioni con la flessibilità e la sicurezza richieste dai laboratori moderni.
منضدة CELERA® الرطبة اليدوية
منضدة CELERA® الرطبة اليدوية
I banchi ad umido manuali CELERA® sono progettati per fornire un processo ad umido ad alte prestazioni su scala di laboratorio, offrendo modularità e un design robusto ispirato ai sistemi completamente automatizzati.
Moduli di trasferimento e dosaggio di sostanze chimiche
Moduli di trasferimento e dosaggio di sostanze chimiche
I nostri moduli configurabili per il trasferimento e l'erogazione di sostanze chimiche (CTDM) sono progettati per l'erogazione di sostanze chimiche ultra-pure, il dosaggio di precisione e la distribuzione sicura agli strumenti di produzione: sono quindi ideali per la produzione di semiconduttori, gli ambienti di camera bianca e altre applicazioni di processo ad alta purezza.
Cappe di aspirazione
Cappe di aspirazione
Proteggete il vostro ambiente di laboratorio con le cappe Exentec ad alte prestazioni, progettate per applicazioni su scala di laboratorio dove il contenimento di fumi pericolosi è fondamentale.