Il sistema di erogazione dei vapori di Exentec è una soluzione compatta e indipendente per una distribuzione efficiente e precisa dei vapori chimici. Comprende un contenitore di gorgogliatori in acciaio inossidabile, un refrigeratore integrato opzionale e un controllore di sistema, il tutto in un ingombro ridotto. Le connessioni all'impianto, al gas di trasporto e al processo possono essere configurate da più lati per un'installazione flessibile.

Panoramica del sistema:

• Il gas di trasporto bolle attraverso il prodotto chimico liquido nel serbatoio utilizzando un diffusore di sparge per ottenere un'elevata saturazione del vapore.
• Un sensore di livello lineare attivo mantiene il livello del liquido di riferimento
• Il controllo della temperatura tramite sonda e refrigeratore opzionale garantisce un'erogazione costante del vapore

Specifiche dell'involucro:

• Dimensioni: 16" L x 16" P x 74,25" H con scarico da 3". L x 16" P x 74,25" H con scarico da 3".
• Durevole acciaio calibro 11 con rivestimento anticorrosione
• Contenitore interno saldato per il contenimento delle sostanze chimiche
• Feritoie e plenum posteriore per un'efficace evacuazione dei gas
• Zone separate per i componenti elettrici, il refrigeratore e il gas
• Caratteristiche di sicurezza: Sensore di scarico, sprinkler UL, sensore antincendio di velocità, porte con guarnizione

Opzioni disponibili:

• Dimensioni del gorgogliatore: 1, 5, 10 o 20 litri
• Refrigeratore integrato
• Opzioni di recupero: Scarico manuale o remoto, linea di recupero
• Bastone per il gas di trasporto: Manometro/trasmettitore opzionale, bypass, valvola ESO

I contenitori per gorgogliatori UHP di Exentec supportano l'erogazione di vapore ad alte prestazioni nei processi di produzione avanzati di semiconduttori, solari e affini, come ALD, PEALD, CVD ed epitassia.