Strutture tecnologiche avanzate

L'innovazione, i processi produttivi sensibili, i crescenti standard di qualità e i rapidi progressi nella ricerca e nello sviluppo rappresentano sfide costanti e crescenti per gli ambienti di produzione e sviluppo dell'industria dei semiconduttori e dell'ottica, nonché per le nanotecnologie e la micromeccanica.

Tolleranze di temperatura e umidità molto basse, pulizia assoluta per quanto riguarda la contaminazione gassosa e particellare, nonché la schermatura delle influenze acustiche, vibrazionali ed elettromagnetiche sui processi del cliente sono i fattori chiave per processi produttivi ottimali. La nostra soluzione: il sistema MEC (Camera Ambientale Modulare).

• Ambienti di processo stabili e riproducibili
• Deposizione di particolato e contaminanti chimici
• Controllo preciso della temperatura
• Schermatura acustica

Dati tecnici

Parametri di prestazione

• Portata d'aria: 2,95 m³/h
• Temperatura dell'aria: 22 °C
• Stabilità della temperatura: ± 5 mK fino a ± 1 mK
• Umidità: 33 % r.H.
• Stabilità dell'umidità: ± 0,3 % r.H.
• Schermatura acustica: per 100 < f < 5000 Hz: -15 dB
• Schermatura magnetica per 10 < f < 200 Hz: -30 dB