Condizionamento dell'acqua ultrapura

Cabine di raffreddamento ad acqua

La soluzione di Exentec consiste nel separare i circuiti di raffreddamento della fabbrica e dell'utensile e nell'utilizzare acqua ultrapura (UPW) nel circuito dell'utensile.

Camera di controllo ambientale precisa

Le camere ambientali di precisione Exentec offrono tolleranze di temperatura e umidità molto basse, pulizia assoluta per quanto riguarda la contaminazione gassosa e particellare e schermatura delle influenze acustiche, vibrazionali ed elettromagnetiche.

Sistemi di climatizzazione di precisione

Exentec fornisce sistemi di controllo climatico di precisione per l'industria dei semiconduttori, le nanotecnologie e la produzione di supporti ottici di memorizzazione che richiedono processi e ambienti di misura costantemente stabili.

Soluzione per il controllo del punto di rugiada

Exentec offre sistemi e soluzioni con gas dislocanti per i più elevati requisiti di pulizia, stabilità della temperatura e secchezza.

Condizionamento dell'acqua ultrapura

Condizionamento preciso dei fluidi in ambienti di produzione innovativi.