Molti processi industriali richiedono acqua di qualità e purezza ben definite. Questo vale in particolare per i processi di produzione farmaceutica, ma anche per molti altri settori. Utilizzando i sistemi di acqua ad alta purezza di Exentec, è possibile realizzare diversi livelli di purezza, persino "acqua per iniezione" della massima qualità.

Su richiesta, i sistemi possono essere integrati nell'infrastruttura esistente o essere utilizzati come soluzione indipendente. In ogni caso, sono progettati da specialisti esperti di Exentec in conformità con gli standard, le specifiche e le normative del settore. Oltre all'integrazione di sistemi di generatori, Exentec produce anche sistemi completi di tubazioni e distribuzione, compresi tutti i componenti e la tecnologia dei sensori, a scelta in acciaio inox o plastica.

Insieme al cliente, Exentec sviluppa sistemi e soluzioni per generare UPW e condizionarlo con una precisione di ± 0,25 mK. Questi prodotti sono il presupposto per il successo dell'applicazione della tecnologia a immersione nei processi litografici.

Per generare strutture più piccole con la stessa lunghezza d'onda, la densità ottica del mezzo tra l'obiettivo e il wafer può essere modificata utilizzando l'acqua. Poiché la densità ottica è estremamente sensibile alle impurità chimiche e alle variazioni di temperatura, l'acqua ultrapura (UPW) utilizzata richiede una stabilità termica estremamente elevata per ottenere qualità di imaging stabili.

Caratteristiche

• Generazione di acqua ultrapura
• Controllo dei contaminanti particellari
• Controllo estremamente preciso della temperatura