Cabine di raffreddamento ad acqua
Cabine di raffreddamento ad acqua
La qualità dell'acqua di raffreddamento del processo disponibile negli impianti di produzione di semiconduttori è un problema significativo.
Le installazioni di macchinari e utensili richiedono un controllo preciso dell'acqua di raffreddamento
La soluzione di Exyte Technology consiste nel separare i circuiti di raffreddamento di fab e tool e nell'utilizzare acqua ultrapura (UPW) nel circuito del tool. Questa separazione consente anche un migliore controllo dell'acqua di raffreddamento per quanto riguarda la stabilità della temperatura, la contaminazione delle particelle e la portata, aumentando le prestazioni e la disponibilità degli utensili.
Cabine di raffreddamento ad acqua
La soluzione di Exentec consiste nel separare i circuiti di raffreddamento della fabbrica e dell'utensile e nell'utilizzare acqua ultrapura (UPW) nel circuito dell'utensile.
Camera di controllo ambientale precisa
Le camere ambientali di precisione Exentec offrono tolleranze di temperatura e umidità molto basse, pulizia assoluta per quanto riguarda la contaminazione gassosa e particellare e schermatura delle influenze acustiche, vibrazionali ed elettromagnetiche.
Sistemi di climatizzazione di precisione
Exentec fornisce sistemi di controllo climatico di precisione per l'industria dei semiconduttori, le nanotecnologie e la produzione di supporti ottici di memorizzazione che richiedono processi e ambienti di misura costantemente stabili.
Soluzione per il controllo del punto di rugiada
Exentec offre sistemi e soluzioni con gas dislocanti per i più elevati requisiti di pulizia, stabilità della temperatura e secchezza.
Condizionamento dell'acqua ultrapura
Condizionamento preciso dei fluidi in ambienti di produzione innovativi.