Sistemi di climatizzazione di precisione
Sistemi di climatizzazione di precisione
Exentec fornisce sistemi di controllo climatico di precisione per l'industria dei semiconduttori, le nanotecnologie e la produzione di supporti ottici di memorizzazione che richiedono processi e ambienti di misura costantemente stabili.
Il clima giusto garantisce la qualità e riduce il tasso di scarto nella produzione. I parametri decisivi sono la stabilizzazione altamente precisa della temperatura e dell'umidità, nonché la garanzia della pulizia dell'aria per quanto riguarda le particelle e la contaminazione chimica.
Cabine di raffreddamento ad acqua
La soluzione di Exentec consiste nel separare i circuiti di raffreddamento della fabbrica e dell'utensile e nell'utilizzare acqua ultrapura (UPW) nel circuito dell'utensile.
Camera di controllo ambientale precisa
Le camere ambientali di precisione Exentec offrono tolleranze di temperatura e umidità molto basse, pulizia assoluta per quanto riguarda la contaminazione gassosa e particellare e schermatura delle influenze acustiche, vibrazionali ed elettromagnetiche.
Sistemi di climatizzazione di precisione
Exentec fornisce sistemi di controllo climatico di precisione per l'industria dei semiconduttori, le nanotecnologie e la produzione di supporti ottici di memorizzazione che richiedono processi e ambienti di misura costantemente stabili.
Soluzione per il controllo del punto di rugiada
Exentec offre sistemi e soluzioni con gas dislocanti per i più elevati requisiti di pulizia, stabilità della temperatura e secchezza.
Condizionamento dell'acqua ultrapura
Condizionamento preciso dei fluidi in ambienti di produzione innovativi.