Kühlwasser-Kabinette

Kühlwasser-Kabinette

Verwendung von ultrareinem Wasser (UPW) im Werkzeugkreislauf.

Präzise Umweltkammer

Präzise Umweltkammer

Präzise Umweltkammer für kontrollierte Prozessumgebungen.

Präzisions-Klimakontrollsystem

Präzisions-Klimakontrollsystem

Das richtige Klima sichert die Qualität und reduziert die Ausschussquote in der Produktion.
Lösung zur Taupunktkontrolle

Lösung zur Taupunktkontrolle

Systemlösung für die Taupunktsteuerung der kritischen Feuchteproduktion.

Aufbereitung von ultrareinem Wasser

Aufbereitung von ultrareinem Wasser

Präzise Konditionierung von flüssigen Medien in innovativen Produktionsumgebungen.

Reinraum

Überlegene Lösungen und umfassende Dienstleistungen

Mini-Umgebungen
Klimageräte
Kritische Subsysteme und kontrollierte Umgebungen
Gasversorgung
Chemische Versorgung

Systeme zum Mischen und Verteilen von ultrahochreinen Chemikalien und Schlämmen

Ampullen & Sensoren
Prozess Auspuff