Überblick über den Analysedienst
- Analysator für den gesamten organischen Kohlenstoff (TOC) ermöglicht die kontinuierliche Überwachung von organischen Stoffen in Reinstwasser
- Die Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-MS) kann fast alle Elemente des Periodensystems nachweisen
- Die Ionenchromatographie (IC) ist die ideale Methode für die Analyse von Anionen, Kationen und anderen polaren Substanzen in wässrigen Medien
- Die Laserpartikelmessung kann Partikel bis zu einer Größe von 50 nm in Wasser zählen bzw. bestimmen
Reinstwasser-Messung
Die Halbleiterindustrie verlangt immer strengere Toleranzgrenzen für Verunreinigungen in Reinstwasser, insbesondere für kritische Metalle und TOC. Unsere Dienstleistungen umfassen:
- Prüfung der Wasserqualität in einem Prozesswerkzeug oder einer Mini-Umgebung für die UPW-Konditionierung
- Prüfung der Wasserqualität im Gesamtsystem vom Point of Entry (POE) bis zum Point of Use (POU)
- Kontrolle der Wasserqualität an mehreren Übergabestellen
- Vorqualifizierung von UHP-Polymermaterialien (Rohre, Schläuche, Membranen usw.) - Auslaugtests
Überwachung der Luftqualität
Komplexe Fertigungsprozesse in der Elektronik- und Halbleiterindustrie erfordern eine hohe Reinheit der Umgebungsluft. Chemische Verunreinigungen in der Gasphase und molekulare Verunreinigungen in der Luft können dünne chemische Filme auf kritischen Oberflächen bilden. Eine strenge Überwachung der Luftqualität in Innenräumen ermöglicht die Einhaltung von hochtechnologischen Produktionsumgebungen.
Material Ausgasung
Quellen für organische Ausgasungen sind Dichtungen, Leiterplatten, Kabelisolierungen, Reinigungsmittel, Beschichtungen, Harze und andere. Kritische Verbindungen sind Siloxane, aromatische Amine und hochsiedende aromatische Kohlenwasserstoffe wie Phthalate. Die Produkt- und Prozesskontrolle umfasst:
- Bauteil- und Materialprüfungen zur Produktionskontrolle
- Screening-Analyse von organischen Verbindungen durch thermische Desorption
- Bewertung von niedrig-, mittel- und hochsiedenden organischen Verbindungen
- Erteilung von Exentec-Zertifikaten