Exentec liefert hochreine Gasversorgungssysteme - von einzelnen Komponenten bis hin zu schlüsselfertigen Lösungen -, die für Labore und Produktionsumgebungen maßgeschneidert sind. Die Optionen reichen von vollautomatischen bis hin zu manuellen Gasschränken, mit integrierter Sicherheit, Überwachung und hochreiner Verteilung für maximale Zuverlässigkeit und Konformität.
Die firmeneigenen Fertigungskapazitäten ermöglichen es uns, komplexe Systeme auch unter Reinraumbedingungen schnell und flexibel zu fertigen. Bei der Montage unter Reinraumbedingungen oder bei der Fertigung passgenauer Anlagen greifen unsere Kompetenzen in der Schweißtechnik, der Prozesssteuerung & Automatisierungstechnik sowie der Prüf- & Qualitätskontrolle nahtlos ineinander.
Hochreine Schüttgassysteme
Die hochreinen Flüssiggassysteme von Exentec bieten schlüsselfertige oder spezialisierte Lösungen für die sichere und effiziente Gasversorgung in Branchen wie der Halbleiterherstellung. Von Pipeline-Steuerungen bis hin zu Reinigungsskids sind die Systeme für verschiedene Gasarten vollständig anpassbar - zur Maximierung von Sicherheit, Produktivität und Lebenszykluswert.
Hochreine Spezialgassysteme
Die hochreinen Spezialgassysteme von Exentec verfügen über eine vollständig integrierte SPS/HMI-Steuerung mit Fernzugriff und automatischer Druckregelung für einen präzisen, ununterbrochenen Gasfluss. Sie sind für kompakte Schränke konzipiert und reduzieren manuelle Eingriffe um 30 %, minimieren Druckschwankungen und erhöhen die Sicherheit durch vollständige Automatisierung.
Gas-Kabinette
Die Gasschränke von Exentec bieten flexible Konfigurationen und eine Betriebszeit von 99,999 %, wobei sowohl Standard- als auch kundenspezifische Lösungen auf spezifische Anwendungen zugeschnitten sind. Zu den Optionen gehören manuelle bis vollautomatische Steuerung, 1-3 Zylinder-Setups und integrierte Spül-/Prozesspanels - alle für Sicherheit, Zuverlässigkeit und einfache Bedienung ausgelegt.
Gas-Mischsysteme
Die Gasmischsysteme von Exentec bieten eine präzise, automatisierte Gasmischung bis zu 250 slpm, mit Echtzeitüberwachung und einer Genauigkeit von ±0,3 %. Ausgestattet mit SPS-Steuerung, integriertem Analysator und Sicherheitsfunktionen in einem kompakten, SEMI-F14-konformen Gehäuse, gewährleistet es zuverlässige Leistung für anspruchsvolle Anwendungen.
Ventilblock-Boxen
Die Exentec Valve Manifold Box (VMB) ermöglicht eine sichere, zuverlässige Gasverteilung mit bis zu 8 Sticks, mit manueller bis vollautomatischer Steuerung und optionaler N₂-Spülung und Vakuum für die Wartung. VMBs sind in Schalttafel- oder Abluftschrankausführung erhältlich und bieten fortschrittliche Sicherheitsmerkmale, doppelte Isolierung und anpassbares Zubehör für Inert- oder Gefahrgasanwendungen.
Ventilplattentafeln
Das Team von Exentec für die Versorgung mit hochreinen Medien liefert innovative und zuverlässige Gaspaneele, die auf einer umfangreichen Erfahrung in der Herstellung und Installation basieren. Zu den Panel-Optionen gehören automatische, manuelle, modulare und Spülkonfigurationen, wie z. B. Auto-Crossover-Panels, die einen ununterbrochenen Gasfluss gewährleisten, indem sie automatisch zwischen den Zylindern wechseln, wenn einer leer ist.
Ventilplattentafeln
Das Team von Exentec für die Versorgung mit hochreinen Medien liefert innovative und zuverlässige Gaspaneele, die auf einer umfangreichen Erfahrung in der Herstellung und Installation basieren. Zu den Panel-Optionen gehören automatische, manuelle, modulare und Spülkonfigurationen, wie z. B. Auto-Crossover-Panels, die einen ununterbrochenen Gasfluss gewährleisten, indem sie automatisch zwischen den Zylindern wechseln, wenn einer leer ist.
Liquide Systeme zur Lieferung von Vorläufern
Das Liquide (Precursor) Delivery System von Exentec ist ein chemisches Verteilungssystem, das auf maximale Effizienz und Leistung ausgelegt ist. Das eigenständige System umfasst redundante Panels mit automatischer Umschaltfunktion für eine erhöhte Betriebszeit von > 99,9 %. Die kleine Stellfläche mit großer Prozesskapazität ist für die Verteilung von flüssigen Chemikalien über ein Druckgas ausgelegt.
Gasversorgungssystem-Controller
Exentec bietet ein vielseitiges Sortiment an Steuerungen für Gasversorgungssysteme, die an spezifische Gasarten, Spülroutinen und Steuerungsplattformen angepasst werden können. Zu den Optionen gehören manuelle bis vollautomatische VMB-Steuerungen (4- oder 8-Stick) mit Allen-Bradley- oder Siemens-SPS sowie kundenspezifische und direkte Ersatzmodelle wie die AVMB4S und AVMB8S für die Aufrüstung von Altsystemen.
Dampfabgabe-System
Das Vapor Delivery System von Exentec ist eine kompakte, hochreine Lösung für die präzise Verteilung chemischer Dämpfe in fortschrittlichen Fertigungsanwendungen. Mit einem Bubbler aus Edelstahl, einem optionalen Kühler und einer intelligenten Steuerung in einem robusten Gehäuse gewährleistet es einen gleichmäßigen Dampfstrom, flexible Integration und erhöhte Sicherheit für Prozesse wie ALD, CVD und Epitaxie.
Kundenspezifischer Gasversorgungsbehälter
Die "Plug & Process"-Gasversorgungscontainer von Exentec sind modulare, vorgefertigte Systeme, die für eine schnelle, kosteneffiziente Einrichtung einer ultrahochreinen Gasinfrastruktur konzipiert sind. Sie sind vollständig anpassbar und automatisiert und verfügen über integrierte Sicherheits-, Belüftungs- und Kontrollsysteme, die platzsparende, skalierbare Lösungen mit langfristiger Unterstützung durch Experten bieten.
Installationen und Maschinenanschlüsse
Unsere hauseigene CAD-Abteilung entwickelt und konstruiert Bauteile und wir fertigen sie in unseren spezialisierten Produktionsstätten. Unsere Experten verarbeiten Edelstahlrohre in den unterschiedlichsten Qualitäten im Orbital- oder Handschweißverfahren. Wir verwenden unter anderem folgende Verbindungstechniken:
- VCR-Technik
- Rohrverschraubung
- Flanschtechnik
- Pressfitting-Systeme
- Kunststoffverarbeitung (Schweißen, Kleben)
Reinraum
Überlegene Lösungen und umfassende Dienstleistungen
Wir entwickeln, produzieren und warten zuverlässige Reinraumprodukte und Produktionsumgebungen für ultrareine kontrollierte Atmosphären.
Mini-Umgebungen
Auf dem Batteriemarkt leistet Exentec Pionierarbeit mit einem einzigartigen modularen Mini-Environment-Konzept, das Energiereduzierung und technologische Verbesserungen integriert.
Klimageräte
Die Lüftungsgeräte von Exentec zeichnen sich durch energieeffizientes Design aus. Unser Forschungs- und Entwicklungsteam arbeitet mit modernsten Geräten und bringt immer die neuesten Erkenntnisse ein.
Kritische Subsysteme und kontrollierte Umgebungen
Reine Medienversorgungssysteme für empfindliche Produkte
Chemische Versorgung
Systeme zum Mischen und Verteilen von ultrahochreinen Chemikalien und Schlämmen
Systeme zum Mischen und Verteilen von ultrahochreinen Chemikalien und Schlämmen
Ampullen und Sensoren
Wir stellen Flüssigkeitsstandssensoren, Behälter für pyrophore Chemikalien und DOT 4B Ampullen, Zylinder und Kanister her, die in der Halbleiter-, Photovoltaik- und Batterieindustrie weit verbreitet sind.
Prozess Auspuff
Wir setzen den Industriestandard für sichere und zuverlässige Absaugsysteme für korrosive Dämpfe
Gasvermeidung
Wir sind ein bevorzugter Lieferant für große Halbleiterunternehmen auf der ganzen Welt und bieten Point-of-Use (POU)-Gasminderungslösungen für Abscheidungs-, Ätz- und Diffusionsprozesswerkzeuge.
Biopharma-Lösungen
Wir unterstützen alle kritischen Schritte der biopharmazeutischen Herstellung
Nasse Bänke
Wir haben uns auf die Entwicklung von Oberflächenvorbereitungssystemen spezialisiert, bei denen Anwendungsanforderungen und Geräteleistung nahtlos zusammenpassen.
Unsere Werkzeuge integrieren Prozesshardware, fortschrittliche Steuerungssoftware und automatisierte Robotertechnik, um kundenspezifische Lösungen von manuellen Einzelprozessbänken bis hin zu vollautomatischen Wafer-Handling-Systemen zu liefern.Wir können Substratträger und Endeffektoren an spezielle Verarbeitungsanforderungen anpassen.
Wir unterstützen eine breite Palette von Substraten und Materialien:
- Wafer (100mm - 300mm)
- III-V-Halbleitermaterialien
- Fotomasken
- Glas- und Quarzbefestigungen
- Kundenspezifische Manifolds und Spezialträger
Unsere Ingenieure können auch kundenspezifische Endeffektoren und Substratträger entwerfen, um Ihre spezifischen Prozess- und Handhabungsanforderungen zu erfüllen.
- Reinigung, Resiststreifen, Ätzen, Entwicklung, Metallabhebung, IPA-Rückgewinnung und Trocknung
- Verwendbar für Säure-, Basen- und Lösungsmittelanwendungen
- Badgrößen für eine oder mehrere Kassetten
- Konfigurierbare und skalierbare Prozessausrüstung.
Unser Team hat Erfahrung mit einem breiten Spektrum von Anwendungen, darunter FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch und E-less Deposition. Wir verfügen auch über Standard-Nassprozessbad-Layouts für viele Anwendungen wie z. B.:
- Nassätzen - Ätzen von Silizium (KOH), Nitrid, gepuffertem Oxid, Photoresiststreifen und Gold/Platin.
- Metallabhebung - NMP- und DMSO-Konfigurationen
- Waferreinigung - Unterstützung für HF-, Piranha-, SC1- und SC2-Bäder
Unsere Prozess-Tools können mit einer ganzen Reihe von Unterstützungssystemen konfiguriert werden, um die Automatisierung, die Sicherheit und das Chemikalienmanagement zu verbessern:
- Chemikalien-Handhabungssysteme
- Chemikalienwagen für Dosierung, Entnahme und Lagerung
- Onboard-Carboys für die Abfallsammlung
- Hebestationen für die Abfallneutralisierung
- Hardware zur Prozessoptimierung
- Temperaturgesteuerte Umwälzpumpen (WHRV)
- Heizung: bis zu 5115 BTU/Std.
- Kühlen: bis zu 2550 BTU/Std.
- Umwälzbäder für konstante Temperatur und Durchfluss
- Quarzbehälter für chemische Beständigkeit
- Schnellablass-Spüler (QDR)
- Eintauch-, Kaskaden- und Sprühmodi
Unsere Oberflächenvorbereitungssysteme sind skalierbar und für die Integration in Reinräume, F&E-Labore und hochvolumige Produktionsstätten geeignet. Ganz gleich, ob Sie mit Standardsubstraten oder einzigartigen Materialien arbeiten, unser Team kann Ihnen eine auf Ihre Bedürfnisse zugeschnittene prozessfertige Plattform liefern.
Gülle-Systeme
Unsere Werkzeuge integrieren Prozesshardware, fortschrittliche Steuerungssoftware und automatisierte Robotertechnik, um kundenspezifische Lösungen von manuellen Einzelprozessbänken bis hin zu vollautomatischen Wafer-Handling-Systemen zu liefern.Wir können Substratträger und Endeffektoren an spezielle Verarbeitungsanforderungen anpassen.
Wir unterstützen eine breite Palette von Substraten und Materialien:
- Wafer (100mm - 300mm)
- III-V-Halbleitermaterialien
- Fotomasken
- Glas- und Quarzbefestigungen
- Kundenspezifische Manifolds und Spezialträger
Unsere Ingenieure können auch kundenspezifische Endeffektoren und Substratträger entwerfen, um Ihre spezifischen Prozess- und Handhabungsanforderungen zu erfüllen.
- Reinigung, Resiststreifen, Ätzen, Entwicklung, Metallabhebung, IPA-Rückgewinnung und Trocknung
- Verwendbar für Säure-, Basen- und Lösungsmittelanwendungen
- Badgrößen für eine oder mehrere Kassetten
- Konfigurierbare und skalierbare Prozessausrüstung.
Unser Team hat Erfahrung mit einem breiten Spektrum von Anwendungen, darunter FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch und E-less Deposition. Wir verfügen auch über Standard-Nassprozessbad-Layouts für viele Anwendungen wie z. B.:
- Nassätzen - Ätzen von Silizium (KOH), Nitrid, gepuffertem Oxid, Photoresiststreifen und Gold/Platin.
- Metallabhebung - NMP- und DMSO-Konfigurationen
- Wafer Clean - Unterstützung für HF, Piranha, SC1, SC2 Bäder
Unsere Prozess-Tools können mit einer ganzen Reihe von Unterstützungssystemen konfiguriert werden, um die Automatisierung, die Sicherheit und das Chemikalienmanagement zu verbessern:
- Chemikalien-Handhabungssysteme
- Chemikalienwagen für Dosierung, Entnahme und Lagerung
- Onboard-Carboys für die Abfallsammlung
- Hebestationen für die Abfallneutralisierung
- Hardware zur Prozessoptimierung
- Temperaturgesteuerte Umwälzpumpen (WHRV)
- Heizung: bis zu 5115 BTU/Std.
- Kühlen: bis zu 2550 BTU/Std.
- Umwälzbäder für konstante Temperatur und Durchfluss
- Quarzbehälter für chemische Beständigkeit
- Schnellablass-Spüler (QDR)
- Eintauch-, Kaskaden- und Sprühmodi
Unsere Oberflächenvorbereitungssysteme sind skalierbar und für die Integration in Reinräume, F&E-Labore und hochvolumige Produktionsstätten geeignet. Ganz gleich, ob Sie mit Standardsubstraten oder einzigartigen Materialien arbeiten, unser Team kann Ihnen eine auf Ihre Bedürfnisse zugeschnittene prozessfertige Plattform liefern.