Dampfabgabesystem | Produkte │ Exentec

Dampfabgabe-System

Das Vapor Delivery System von Exentec ist ein chemisches Dampfverteilungssystem, das entwickelt wurde, um die Effizienz und Leistung zu maximieren

Das Vapor Delivery System von Exentec ist eine kompakte, eigenständige Lösung für die effiziente und präzise Verteilung von chemischen Dämpfen. Es umfasst einen Edelstahl-Bubbler-Behälter, einen optionalen integrierten Kühler und eine Systemsteuerung - alles auf kleinstem Raum. Anlagen-, Trägergas- und Prozessanschlüsse können für eine flexible Installation von mehreren Seiten konfiguriert werden.

System-Übersicht:

Trägergas durchströmt die flüssige Chemikalie im Behälter mit Hilfe eines Spardiffusors für hohe Dampfsättigung
Aktiver linearer Füllstandssensor hält den Flüssigkeits-Sollwert aufrecht
Temperaturregelung über Sonde und optionalen Kühler gewährleistet gleichmäßige Dampfabgabe

Spezifikationen des Gehäuses:

Größe: 16" B x 16" T x 74,25" H mit 3" Auslass
Langlebiger 11-Gauge-Stahl mit korrosionsbeständiger Beschichtung
Geschweißtes Innengehäuse für chemischen Einschluss
Lüftungsschlitze und hinteres Plenum für eine effektive Gasabsaugung
Getrennte Zonen für elektrische, Kühl- und Gaskomponenten
Sicherheitsmerkmale: Abgassensor, UL-Sprinkleranlage, Brandmeldesensor für die Steiggeschwindigkeit, abgedichtete Türen

Verfügbare Optionen:

Sprudlergrößen: 1, 5, 10, oder 20 Liter
Integrierte Kühlung
Optionen für die Rückgewinnung: Manueller oder ferngesteuerter Ablass, Rückgewinnungsleitung
Trägergas-Stick: Optionales Manometer/Transmitter, Bypass, ESO-Ventil

Die UHP-Bubblergefäße von Exentec unterstützen die hochleistungsfähige Dampfzufuhr in Halbleiter-, Solar- und verwandten fortschrittlichen Herstellungsprozessen wie ALD, PEALD, CVD und Epitaxie.

Hochreine Schüttgassysteme

Wir bieten unseren Kunden eine zuverlässige Quelle für hochwertige Gassystemausrüstungen und eine breite Palette von Produkten und Dienstleistungen.

Hochreine Spezialgassysteme

Wir nutzen unsere Baukapazitäten und unser Programmier-Know-how, um bahnbrechende Systeme zur Lieferung von Spezialgas zu entwickeln.

Gas-Kabinette

Eine breite Palette von Schränken, Steuerungen und Panels kann zu einem System konfiguriert werden, das auf Ihre Bedürfnisse zugeschnitten ist.

Gas-Mischsysteme

Der Exentec Gas Blender ist ein regelungsbasiertes Gasmischsystem mit geschlossenem Kreislauf und integriertem Analysator.

Ventilblock-Boxen

Die Exentec Valve Manifold Box (VMB) bietet sichere und zuverlässige Verteilerpunkte für ein Gassystem.

Ventilplattentafeln

Das Team von Exentec für die Lieferung von Reinstmedien verfügt über umfangreiche Erfahrung in der Herstellung und Installation von Reinstgasplatten und -geräten.

Bulk-Spezialgassysteme

Das Bulk Specialty Gas System (BSGS) ist ein hochmodernes Verteilersystem, das für die sichere, automatische Lieferung von Bulk-Spezialgasen ausgelegt ist.

Liquide Systeme zur Lieferung von Vorläufern

Das Liquide (Precursor) Delivery System von Exentec ist ein chemisches Verteilungssystem, das zur Maximierung von Effizienz und Leistung entwickelt wurde.

Gasversorgungssystem-Controller

Die verfügbaren Optionen für unsere Controller-Familie werden immer spezifischer, da sich die Bedürfnisse und Anforderungen der Endbenutzer ändern.

Dampfabgabe-System

Das Vapor Delivery System von Exentec ist ein chemisches Dampfverteilungssystem, das zur Maximierung von Effizienz und Leistung entwickelt wurde.

Kundenspezifischer Gasversorgungsbehälter

Die Komplettlösungen von Exentec im Technik-/Sicherheitsbehälter sind ideal für eine variable und flexible Gasversorgung.

Installationen und Maschinenanschlüsse

Gerne unterstützen wir Sie als kompetenter Partner bei der Installation und Anbindung von Fertigungsmaschinen an Ihrem Produktions- oder Forschungsstandort.