Das Spektrum der Exentec Oberflächenvorbereitungswerkzeuge und Nassbänke reicht von Batch-Tauchanlagen bis hin zu Sprühanlagen oder Nassbänken für Einzelwafer. Alle Nassbänke können von manuellen bis hin zu vollautomatischen Multitasking-Systemen konfiguriert werden.
Unsere Nassbänke sind auf Wiederholbarkeit und Volumen ausgelegt, wobei der Schwerpunkt auf Prozessen mit zwei oder mehr Bearbeitungstanks liegt. Unsere Nassprozessstationen entsprechen den aktuellen SEMI-Normen und sind in vollautomatischen, halbautomatischen und manuellen Konfigurationen erhältlich.
- FEOL, BEOL, Packaging-Module, Advance-Packaging-Module, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch und E-less Deposition
- Reinigung, Resiststreifen, Ätzen, Entwicklung, Metall-Lift-off, IPA-Rückgewinnung und Trocknung
- Verwendbar für Säure-, Basen- und Lösungsmittelanwendungen
- Badgrößen für eine oder mehrere Kassetten
- Siliziumwafer von 100 mm bis 450 mm, III-V-Materialien, Fotomasken, Glas und große Verteilerrohre
- Kundenspezifische Substrate
Nassbank-Produkte von Exentec
Die Wet Bench Produkte von Exentec sind für die Vorbereitung von Silizium-Wafer-Oberflächen, die Unterstützung von Reinraum-Fertigungsschritten, die Durchführung von Ätzprozessen und die Rückführung großer Fertigungskomponenten in einen kontaminationsfreien Zustand konzipiert:
Aeris® automatisierte Nassbank
Aeris® automatisierte Nassbank
Die automatisierte Aeris®-Nassbank wurde speziell für die strengen Anforderungen der Halbleiterforschung und -entwicklung entwickelt und kombiniert Hochleistungsprozesse mit der Flexibilität und Sicherheit, die moderne Labore benötigen.
منضدة CELERA® الرطبة اليدوية
منضدة CELERA® الرطبة اليدوية
Die manuellen CELERA®-Nassbänke sind für eine leistungsstarke Nassbearbeitung im Labormaßstab konzipiert und bieten Modularität und ein robustes Design, das sich an vollautomatischen Systemen orientiert.
Module für Chemikalientransfer und -abgabe
Module für Chemikalientransfer und -abgabe
Unsere konfigurierbaren Chemikalientransfer- und -spendemodule (CTDM) sind für die Zuführung hochreiner Chemikalien, die präzise Dosierung und die sichere Verteilung an die Produktionswerkzeuge ausgelegt - ideal für die Halbleiterherstellung, Reinraumumgebungen und andere hochreine Prozessanwendungen.
Abzugshauben
Abzugshauben
Schützen Sie Ihre Laborumgebung mit den Hochleistungsabzügen von Exentec, die für Anwendungen im Labormaßstab entwickelt wurden, bei denen die Eindämmung gefährlicher Dämpfe entscheidend ist.