Exentec ist der bevorzugte Lieferant für große Halbleiterunternehmen auf der ganzen Welt und bietet Point-of-Use (POU)-Gasminderungslösungen für Abscheidungs-, Ätz- und Diffusionsprozesswerkzeuge.
Unsere Systeme gehören zu den effizientesten und zuverlässigsten Epi-Wäschern auf dem Markt. Wir kombinieren die Einlassgerätetechnologie mit einer SPS-basierten Steuerbox und einem automatischen Gaseinlasskolben, um ein wartungsarmes Epi-Reinigungssystem herzustellen. Diese Leistung führt zu einer höheren Betriebszeit, einer größeren Prozessstabilität und einer erhöhten Sicherheit. Unsere Systeme kombinieren 2 Sprühkammern und eine Füllkörperkolonne, um einen der höchsten Wirkungsgrade in der Branche zu erzielen.
Umfassen
Dieses branchenweit erste Wet-Burn-Wet-Reinigungssystemkombiniert zwei Nassreinigungsverfahren (Wet + Burn/Wet) in einer einzigen Plattform, die eine effiziente Entfernung wasserlöslicher Gase vor dem Brenner ermöglicht.
Wirbelsturm
Das Exentec Cyclone Nassentstaubungssystem ist unser Flaggschiffmodell, das alle fortschrittlichen Funktionen enthält, die keine systembedingten Ausfallzeiten der Prozesswerkzeuge unterstützen.
Zyklon XL
Unser neuestes Nassreinigungssystem mit hoher Kapazität und Effizienz, der Cyclone XL, verfügt über eine Grobsprühdüse mit hohem Durchfluss, die die erste Waschkammer beschichtet und grobe Verunreinigungen beseitigt. Die strategische Positionierung erhöht die Effizienz, minimiert den Wasserverbrauch und eliminiert Schaum.
Reinraum
Überlegene Lösungen und umfassende Dienstleistungen
Wir entwickeln, produzieren und warten zuverlässige Reinraumprodukte und Produktionsumgebungen für ultrareine kontrollierte Atmosphären.
Mini-Umgebungen
Auf dem Batteriemarkt leistet Exentec Pionierarbeit mit einem einzigartigen modularen Mini-Environment-Konzept, das Energiereduzierung und technologische Verbesserungen integriert.
Klimageräte
Die Lüftungsgeräte von Exentec zeichnen sich durch energieeffizientes Design aus. Unser Forschungs- und Entwicklungsteam arbeitet mit modernsten Geräten und bringt immer die neuesten Erkenntnisse ein.
Kritische Subsysteme und kontrollierte Umgebungen
Reine Medienversorgungssysteme für empfindliche Produkte
Chemische Versorgung
Systeme zum Mischen und Verteilen von ultrahochreinen Chemikalien und Schlämmen
Systeme zum Mischen und Verteilen von ultrahochreinen Chemikalien und Schlämmen
Ampullen & Sensoren
Wir stellen Flüssigkeitsstandssensoren, Behälter für pyrophore Chemikalien und DOT 4B Ampullen, Zylinder und Kanister her, die in der Halbleiter-, Photovoltaik- und Batterieindustrie weit verbreitet sind.
Prozess Auspuff
Wir setzen den Industriestandard für sichere und zuverlässige Absaugsysteme für korrosive Dämpfe